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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0129141 (2020-10-07) | |
공개번호 | 10-2021-0070179 (2021-06-14) | |
등록번호 | 10-2521465-0000 (2023-04-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200129141 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-10-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 금속막 형성용 전구체 조성물에 관한 것으로서, 하기 화학식 1 내지 화학식 3 중 어느 하나로 표시되는 지르코늄 화합물 및 하기 화학식 4 내지 화학식 6 중 어느 하나로 표시되는 하프늄 화합물을 포함하는 것을 특징으로 한다.[화학식 1][화학식 2][화학식 3][화학식 4][화학식 5][화학식 6] (상기 화학식 1 내지 6에서 R1 내지 R5는 각각 독립적으로 수소원자 또는 C1-C6의 알킬기이며, L은 Si 또는 C1-C3의 연결기이고, X1 내지 X3은 C1 내지 C5의 알킬기 또는 -NR6R7 또는 -OR8이거나
하기 화합물 1로 표시되는 지르코늄 화합물 및 하기 화합물 4로 표시되는 하프늄 화합물로 이루어지거나, 또는, 하기 화합물 3으로 표시되는 지르코늄 화합물 및 하기 화합물 4로 표시되는 하프늄 화합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 지르코늄-하프늄 함유 박막 형성용 전구체 조성물.[화합물 1][화합물 3][화합물 4]
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