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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0110920 (2020-09-01) | |
등록번호 | 10-2333354-0000 (2021-11-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200110920 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-09-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
CDA(clean dry air) 공급라인에 연결된 반도체 제조 설비의 긴급 배기 시스템이 제공된다. 반도체 제조 설비의 긴급 배기 시스템은 하나 이상의 화학약품 탱크로부터 공급되는 화학약품을 반도체 처리 장치로 공급하는 하나 이상의 공급배관이 지나도록 구성되며, 하나 이상의 공급배관에서 화학약품의 누출을 감지하는 복수의 리크 센서를 포함하는 화학약품 공급 장치와, 화학약품 공급 장치 내부의 공기가 배출되는 배기용 배관에 설치되어 압축공기 주입시에 배기를 활성화시키는 배기활성부와, 배기활성부와 CDA 공급라인 사이에 설치되어, CD
CDA(clean dry air) 공급라인에 연결된 반도체 제조 설비의 긴급 배기 시스템으로서, 하나 이상의 화학약품 탱크로부터 공급되는 화학약품을 반도체 처리 장치로 공급하는 하나 이상의 공급배관이 지나도록 구성되며, 하나 이상의 공급배관에서 화학약품의 누출을 감지하는 복수의 리크 센서를 포함하는 화학약품 공급 장치; 화학약품 공급 장치 내부의 공기가 배출되는 배기용 배관에 설치되어 압축공기 주입시에 배기를 활성화시키는 배기활성부; 배기활성부와 CDA 공급라인 사이에 설치되어, CDA 공급라인으로부터의 압축공기가 유입되는 유입 배
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