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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0174256 (2020-12-14) | |
공개번호 | 10-2022-0084609 (2022-06-21) | |
등록번호 | 10-2458515-0000 (2022-10-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200174256 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 명세서에 개시된 기술은 X-Y 스테이지 요(yaw) 보정 방법으로서, 구동기를 이용하여 XY 이동 본체(moving body)를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키는 단계; 센서를 이용하여, 상기 이동된 XY 이동 본체의 회전 변위인 요(yaw)를 측정하는 단계; 제어기(controller)가 상기 측정된 요 데이터를 이용하여 보정될 회전 강성 값을 연산하는 단계; 및 상기 보정될 회전 강성 값에 대응하는 강성을 가진 요 보정 플렉셔(yaw correction flexures)를 상기 X-Y 스테이지에 부가하는 단계를 포함할 수
X-Y 스테이지 요(yaw) 보정 방법으로서,구동기를 이용하여 XY 이동 본체(moving body)를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키는 단계;센서를 이용하여, 상기 이동된 XY 이동 본체의 XY 플렉셔에 의해 발생된 회전 변위인 요(yaw)를 측정하는 단계;제어기(controller)가 상기 측정된 요 데이터를 이용하여 보정될 회전 강성 값을 연산하는 단계; 및상기 보정될 회전 강성 값에 대응하는 강성을 갖도록 길이, 너비 및 두께 중 적어도 어느 하나를 변경 가능하도록 구성된 요 보정 플렉셔(yaw correction flex
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