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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0181967 (2020-12-23) | |
등록번호 | 10-2256840-0000 (2021-05-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200181967 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 AsF3를 포함하는 천연-무수 불산(Crude-AHF)과 산화제인 F2 가스를 반응기에 투입하는 제1단계, 상기 AsF3 와 F2 가스의 산화반응으로 AsF5 가스를 제조하는 제2단계, 상기 제조된 AsF5 가스와 흡수액을 반응시켜 XAsFx(OH)y(X = Na, K, Li, Ca, Ba 중에서 선택되며; x = 5 ~ 7; y = 0 또는 1임) 화합물을 형성시키는 제3단계, 및 상기 제3단계에서 흡수액과 반응하지 않은 AsF5 가스를 대기로 배출시키는 제4단계를 포함하는 초고순도 불화수소가스 제조 시 불화수소 내 비
AsF3를 포함하는 천연-무수 불산(Crude-AHF)과 산화제인 F2 가스를 반응기에 투입하는 제1단계, ⅰ) 상기 F2 가스와 AsF3를 포함하는 천연-무수 불산(Crude-AHF)이 상기 반응기와 연결된 컬럼 내에서 향류 접촉되어 1차 이루어짐과 동시에, ⅱ)상기 반응기에 설치된 딥 노즐을 통하여 반응기 내부에서 2차로 이루어지는 것으로 구성된 상기 AsF3 와 F2 가스의 산화반응으로 AsF5 가스를 제조하는 제2단계, 상기 제조된 AsF5 가스와 흡수액을 반응시켜 XAsFx(OH)y(X = Na, K, Li, Ca, Ba
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