초록

본 발명은 디실란(Disilane)의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로는 촉매를 사용하여 모노실란(Monosilane)으로부터 디실란을 대량으로 생산이 가능한 디실란의 제조방법에 관한 것이다.

대표청구항

i) 내부에 촉매층을 구비한 반응기의 공기 제거 및 승온 단계; ii) 상기 촉매층의 촉매를 ‘촉매의 체적(cm3)/모노실란의 분당 유량(ml/min.)의 비율이 0.01 내지 1.5인 범위’로 사용하여 모노실란의 탈수소 축합반응으로 디실란을 생성하는 단계; 및 iii) 상기 생성된 디실란을 배출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 디실란의 제조방법

i) 내부에 촉매층을 구비한 반응기의 공기 제거 및 승온 단계; ii) 상기 촉매층의 촉매를 ‘촉매의 체적(cm3)/모노실란의 분당 유량(ml/min.)의 비율이 0.01 내지 1.5인 범위’로 사용하여 모노실란의 탈수소 축합반응으로 디실란을 생성하는 단계; 및 iii) 상기 생성된 디실란을 배출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 디실란의 제조방법