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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0007925 (2013-01-24) | |
공개번호 | 10-2014-0095240 (2014-08-01) | |
등록번호 | 10-1462751-0000 (2014-11-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130007925 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-01-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 삼불화질소 제조방법에 관한 것으로서, 1) 제1전해조에서 불산(HF)을 전해하여 불소(F2) 가스를 발생시키는 단계; 2) 불소화 반응기에서 상기 불소(F2) 가스와 암모니아(NH3)를 반응시켜 삼불화질소(NF3)를 얻고, 부산물로서 제1산성불화암모늄(AAF-1)을 생성하는 단계; 3) 상기 제1산성불화암모늄(AAF-1)에 불산(HF), 암모니아(NH3) 또는 이들을 함께 첨가하여 암모니아에 대한 불산의 몰비를 조정한 제2산성불화암모늄(AAF-2)을 생성하는 단계; 4) 상기 제2산성불화암모늄(AAF-2)을 제2전해조에서
1) 제1전해조에서 불산(HF)을 전해하여 불소(F2) 가스를 발생시키는 단계;2) 불소화 반응기에서 상기 불소(F2) 가스와 암모니아(NH3)를 반응시켜 삼불화질소(NF3)를 얻고, 부산물로서 제1산성불화암모늄(AAF-1)을 생성하는 단계;3) 상기 제1산성불화암모늄(AAF-1)에 불산(HF)을 첨가하여 암모니아에 대한 불산의 몰비를 조정한 제2산성불화암모늄(AAF-2)을 생성하는 단계;4) 상기 제2산성불화암모늄(AAF-2)을 제2전해조에서 전해하여 삼불화질소(NF3)를 생성하는 단계; 및5) 상기 단계 2)의 불소화 반응기에서
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