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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0185730 (2020-12-29) | |
공개번호 | 10-2022-0094484 (2022-07-06) | |
등록번호 | 10-2482232-0000 (2022-12-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200185730 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 라인빔을 이용한 형상 프로파일 측정장치에 관한 것이다. 장치 하우징은 내부 공간을 갖고, 한쪽 부위에 광 출력구와 광 입력구가 형성된다. 라인빔 모듈은 라인빔을 출력해서 광 출력구를 통해 측정대상물 표면으로 조사하도록 장치 하우징 내에 장착된다. 한 쌍의 미러들은 라인빔 모듈로부터 주변으로 발산되는 라인빔을 반사시켜 측정대상물 표면으로 조사하도록 광 출력구 내에 광축을 중심으로 서로 대칭되어 장착된다. 카메라는 측정대상물 표면으로부터 반사되는 광을 광 입력구를 통해 입력받도록 장치 하우징 내에 장착된다.
내부 공간을 갖고, 한쪽 부위에 광 출력구와 광 입력구가 형성된 장치 하우징;라인빔을 출력해서 상기 광 출력구를 통해 측정대상물 표면으로 조사하도록 상기 장치 하우징 내에 장착되는 라인빔 모듈;상기 라인빔 모듈로부터 주변으로 발산되는 라인빔을 반사시켜 측정대상물 표면으로 조사하도록 상기 광 출력구 내에 광축을 중심으로 서로 대칭되어 장착되는 한 쌍의 미러들;측정대상물 표면으로부터 반사되는 광을 상기 광 입력구를 통해 입력받도록 상기 장치 하우징 내에 장착되는 카메라; 및상기 라인빔 모듈로부터 측정 대상물 표면으로 직접적으로 조사되는
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