최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2020-7006345 (2020-03-03) | |
공개번호 | 10-2020-0056985 (2020-05-25) | |
등록번호 | 10-2555765-0000 (2023-07-11) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-189718 (2017-09-29);일본(JP) JP-P-2017-189719 (2017-09-29) | |
국제출원번호 | PCT/JP2018/035627 (2018-09-26) | |
국제공개번호 | WO 2019/065710 (2019-04-04) | |
번역문제출일자 | 2020-03-03 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207006345 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2021-09-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
정전 척 장치는, 시료를 재치하는 시료 재치면을 가짐과 함께 정전 흡착용 제1 전극을 갖는 정전 척부와, 정전 척부에 대하여 시료 재치면과는 반대측에 재치되어 정전 척부를 냉각하는 냉각 베이스부와, 정전 척부와 상기 냉각 베이스부를 접착하는 접착층을 구비하고, 정전 척부는, 접착층의 측에 요철을 갖고 있으며, 제1 전극의 면 저항값이 1.0Ω/□보다 높고 1.0×1010Ω/□보다 낮다.
시료를 재치하는 시료 재치면을 가짐과 함께 정전 흡착용 제1 전극을 갖는 정전 척부와,상기 정전 척부에 대하여 상기 시료 재치면과는 반대측에 재치되어 상기 정전 척부를 냉각하는 냉각 베이스부와,상기 정전 척부와 상기 냉각 베이스부를 접착하는 접착층을 구비하고,상기 정전 척부는, 상기 접착층의 측에 오목부를 갖고 있으며,상기 냉각 베이스부는, 상기 접착층의 측에 볼록부를 갖고 있고,상기 제1 전극의 면 저항값이 1.0Ω/□보다 높고 1.0×1010Ω/□보다 낮으며,상기 접착층은, 상기 오목부 및 상기 볼록부를 따라 마련되는, 정전 척
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.