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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7013503 (2020-05-12) | |
공개번호 | 10-2020-0056469 (2020-05-22) | |
우선권정보 | 미국(US) 15/782,650 (2017-10-12) | |
국제출원번호 | PCT/US2018/052496 (2018-09-24) | |
국제공개번호 | WO 2019/074661 (2019-04-18) | |
번역문제출일자 | 2020-05-12 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207013503 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-05-12) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 개시내용은 정전 척에 관한 것으로, 정전 척은: 처리 동안 상부에 기판을 지지하기 위한 유전체 제1 표면을 갖는 기부; 및 사용 동안 기판을 유전체 제1 표면에 정전기적으로 결합시키는 것을 용이하게 하도록 유전체 제1 표면에 근접하게 기부 내에 배치되는 전극을 포함하며, 여기서, 유전체 제1 표면은, 물과 접촉할 때 기판을 유전체 제1 표면에 정전기적으로 유지할 만큼 충분히 소수성이다.정전 척을 만들고 습식 조건들 하에서 사용하는 방법들이 또한 개시된다.
정전 척으로서,처리 동안 상부에 기판을 지지하기 위한 유전체 제1 표면을 갖는 기부; 및사용 동안 상기 기판을 상기 유전체 제1 표면에 정전기적으로 결합시키는 것을 용이하게 하도록 상기 유전체 제1 표면에 근접하게 상기 기부 내에 배치되는 전극을 포함하며, 상기 유전체 제1 표면은, 물과 접촉할 때 상기 기판을 상기 유전체 제1 표면에 정전기적으로 유지할 만큼 충분히 소수성인, 정전 척.
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