초록 ▼

치밀화된 고순도 실리카 입자를 고농도로 포함하는, 입자가 응집하고 있지 않는 저점도의 분산액을 제공한다. 즉, 전자 현미경 사진으로부터 구한 평균 입자경이 5 ∼ 300 ㎚, 질소 흡착에 의한 BET 법에 의한 비표면적으로부터 구한 밀도 1.20 g/㎤ 이상의 실리카 입자를 포함하고, pH 가 8 미만, 실리카 농도가 12 ∼ 40 질량％, 실리카 농도 20 질량％ 환산 점도가 40 mPa·s 이하인 실리카 입자의 분산액이다. 이 실리카 입자를 연마재로서 사용하면, 충분한 연마 속도와 스크래치의 발생이 억제된 평활한 연마면을 실현할

치밀화된 고순도 실리카 입자를 고농도로 포함하는, 입자가 응집하고 있지 않는 저점도의 분산액을 제공한다. 즉, 전자 현미경 사진으로부터 구한 평균 입자경이 5 ∼ 300 ㎚, 질소 흡착에 의한 BET 법에 의한 비표면적으로부터 구한 밀도 1.20 g/㎤ 이상의 실리카 입자를 포함하고, pH 가 8 미만, 실리카 농도가 12 ∼ 40 질량％, 실리카 농도 20 질량％ 환산 점도가 40 mPa·s 이하인 실리카 입자의 분산액이다. 이 실리카 입자를 연마재로서 사용하면, 충분한 연마 속도와 스크래치의 발생이 억제된 평활한 연마면을 실현할 수 있다.

대표청구항 ▼

전자 현미경 사진으로부터 구한 평균 입자경이 5 ∼ 300 ㎚, 상기 평균 입자경과 질소 흡착에 의한 BET 법에 의한 비표면적으로부터 구한 밀도가 1.20 g/㎤ 이상 1.60 g/㎤ 미만이고, 알콕시기에서 유래하는 탄소량이 0.005 질량％ 이상 0.50 질량％ 미만인 실리카 입자를 포함하고, pH 가 8 미만, 실리카 농도가 12 ∼ 40 질량％, 실리카 농도 20 질량％ 환산 점도가 40 mPa·s 이하, 상기 실리카 입자 이외의 규소를 포함하는 화합물의 양이 200 ppm 이하인 것을 특징으로 하는 연마용 실리카 입자의 분

전자 현미경 사진으로부터 구한 평균 입자경이 5 ∼ 300 ㎚, 상기 평균 입자경과 질소 흡착에 의한 BET 법에 의한 비표면적으로부터 구한 밀도가 1.20 g/㎤ 이상 1.60 g/㎤ 미만이고, 알콕시기에서 유래하는 탄소량이 0.005 질량％ 이상 0.50 질량％ 미만인 실리카 입자를 포함하고, pH 가 8 미만, 실리카 농도가 12 ∼ 40 질량％, 실리카 농도 20 질량％ 환산 점도가 40 mPa·s 이하, 상기 실리카 입자 이외의 규소를 포함하는 화합물의 양이 200 ppm 이하인 것을 특징으로 하는 연마용 실리카 입자의 분산액.