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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7017121 (2020-06-15) | |
공개번호 | 10-2020-0075887 (2020-06-26) | |
등록번호 | 10-2621965-0000 (2024-01-03) | |
우선권정보 | 미국(US) 15/815,325 (2017-11-16) | |
국제출원번호 | PCT/US2018/059826 (2018-11-08) | |
국제공개번호 | WO 2019/099277 (2019-05-23) | |
번역문제출일자 | 2020-06-15 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207017121 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-11-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
고 웨이퍼 배치 정확성을 제공하도록 구성되는 웨이퍼 핸들링 로봇들이 제공된다.이러한 로봇들은 회전 구동 이송 메커니즘들뿐만 아니라, 모터 출력부들에서와 완전히 반대로 회전 조인트 각각에 위치되는 회전 인코더들을 활용한다.
로봇 암을 포함하고, 상기 로봇 암은, 베이스 (base); 제 1 가동 링크 (movable link) 로서, 상기 제 1 가동 링크의 제 1 단부가 제 1 회전 조인트를 통해 상기 베이스에 회전 가능하게 연결된, 상기 제 1 가동 링크; 제 2 가동 링크로서, 상기 제 2 가동 링크의 제 1 단부가 제 2 회전 조인트를 통해 상기 제 1 가동 링크의 제 2 단부에 회전 가능하게 연결된, 상기 제 2 가동 링크; 제 1 풀리 (pulley), 제 2 풀리, 및 상기 제 1 풀리와 상기 제 2 풀리 사이에 걸치는 하나 이상의 제 1
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