초록 ▼

웨이퍼 배치 장치(10)는, 웨이퍼용 정전척(14)과 웨이퍼용 냉각판(16)을 구비한 웨이퍼 배치대(12)와, 포커스링용 정전척(22)과 포커스링용 냉각판(24)을 구비한 포커스링 배치대(20)와, 포커스링 배치대(20)의 외주에 배치된 클램프 부재(30)를 구비하고 있다. 웨이퍼 배치대(12)와 포커스링 배치대(20)와 클램프 부재(30)는 각각 별체이다. 포커스링용 냉각판(24)의 압박부(24b)는, 웨이퍼용 냉각판 플랜지부(16a)를 설치판(82)을 향해 압박한다. 클램프 부재(30)는, 플랜지부(24a)를 설치판(82)을 향

웨이퍼 배치 장치(10)는, 웨이퍼용 정전척(14)과 웨이퍼용 냉각판(16)을 구비한 웨이퍼 배치대(12)와, 포커스링용 정전척(22)과 포커스링용 냉각판(24)을 구비한 포커스링 배치대(20)와, 포커스링 배치대(20)의 외주에 배치된 클램프 부재(30)를 구비하고 있다. 웨이퍼 배치대(12)와 포커스링 배치대(20)와 클램프 부재(30)는 각각 별체이다. 포커스링용 냉각판(24)의 압박부(24b)는, 웨이퍼용 냉각판 플랜지부(16a)를 설치판(82)을 향해 압박한다. 클램프 부재(30)는, 플랜지부(24a)를 설치판(82)을 향해 테두리부(32)로 압박한 상태로 볼트(86)에 의해 설치판(82)에 체결되는 것에 의해, 웨이퍼 배치대(12) 및 포커스링 배치대(20)를 설치판(82)에 직접 체결하지 않고 설치판(82)에 고정한다.

대표청구항 ▼

웨이퍼용 정전척과 상기 웨이퍼용 정전척의 웨이퍼 배치면과는 반대측의 면에 부착된 웨이퍼용 냉각판을 구비한 웨이퍼 배치대와, 상기 웨이퍼 배치대와는 별체이며, 상기 웨이퍼 배치대의 외주에 배치되고, 포커스링용 정전척과 상기 포커스링용 정전척의 포커스링 배치면과는 반대측의 면에 부착된 포커스링용 냉각판을 구비한 포커스링 배치대와, 상기 포커스링 배치대와는 별체이며, 상기 포커스링 배치대의 외주에 배치된 클램프 부재를 구비한 웨이퍼 배치 장치로서, 상기 웨이퍼용 냉각판은, 상기 웨이퍼 배치 장치가 설치되는 설치판에 가까운 쪽의 단부의 외

웨이퍼용 정전척과 상기 웨이퍼용 정전척의 웨이퍼 배치면과는 반대측의 면에 부착된 웨이퍼용 냉각판을 구비한 웨이퍼 배치대와, 상기 웨이퍼 배치대와는 별체이며, 상기 웨이퍼 배치대의 외주에 배치되고, 포커스링용 정전척과 상기 포커스링용 정전척의 포커스링 배치면과는 반대측의 면에 부착된 포커스링용 냉각판을 구비한 포커스링 배치대와, 상기 포커스링 배치대와는 별체이며, 상기 포커스링 배치대의 외주에 배치된 클램프 부재를 구비한 웨이퍼 배치 장치로서, 상기 웨이퍼용 냉각판은, 상기 웨이퍼 배치 장치가 설치되는 설치판에 가까운 쪽의 단부의 외주면으로부터 반경 외측을 향해 돌출된 웨이퍼용 냉각판 플랜지부를 구비하고, 상기 포커스링용 냉각판은, 상기 웨이퍼용 냉각판 플랜지부를 설치판을 향해 압박하는 압박부와, 상기 설치판에 가까운 쪽의 단부의 외주면으로부터 반경 외측을 향해 돌출된 포커스링용 냉각판 플랜지부를 구비하고, 상기 클램프 부재는, 상기 포커스링용 냉각판 플랜지부를 상기 설치판을 향해 압박한 상태로 체결 기구에 의해 상기 설치판에 체결되는 것에 의해, 상기 웨이퍼 배치대 및 상기 포커스링 배치대를 상기 설치판에 직접 체결하지 않고 상기 설치판에 고정하는 것인, 웨이퍼 배치 장치.