초록

웨이퍼 유지대(10)는, 세라믹제의 정전척(12)과 금속제의 냉각판(14) 사이에, 소정의 열저항을 갖는 수지층(15)과 그 수지층(15)보다 영률이 낮은 응력 완화층(16)을 구비하고 있다. 수지층(15)은 정전척측에, 응력 완화층(16)은 냉각판측에 형성되어 있다. 수지층(15)은, 수지 시트가 복수 매 적층된 다층 구조이다. 수지층(15)의 두께는, 수지 시트와 동일한 재료로 제작되며 수지층(15)과 동일한 열저항을 갖는 단층 구조의 비교 대상 샘플의 두께보다 얇다.

대표청구항 ▼

세라믹제의 정전척과 금속제의 냉각판 사이에, 미리 정해진 열저항을 갖는 수지층과 상기 수지층보다 영률이 낮은 응력 완화층을 구비하고, 상기 수지층이 상기 정전척측에, 상기 응력 완화층이 상기 냉각판측에 설치된 웨이퍼 유지대로서, 상기 수지층은, 수지 시트가 복수 매 적층된 다층 구조이며, 상기 수지층의 측면을 두께 방향에서 보았을 때에 두께 방향의 중앙이 움푹 팬 형상으로 되어 있거나 두께 방향으로 계단형으로 되어 있으며,상기 수지층의 두께는, 상기 수지 시트와 동일한 재료로 제작되며 상기 수지층과 동일한 열저항을 갖는 단층 구조의

세라믹제의 정전척과 금속제의 냉각판 사이에, 미리 정해진 열저항을 갖는 수지층과 상기 수지층보다 영률이 낮은 응력 완화층을 구비하고, 상기 수지층이 상기 정전척측에, 상기 응력 완화층이 상기 냉각판측에 설치된 웨이퍼 유지대로서, 상기 수지층은, 수지 시트가 복수 매 적층된 다층 구조이며, 상기 수지층의 측면을 두께 방향에서 보았을 때에 두께 방향의 중앙이 움푹 팬 형상으로 되어 있거나 두께 방향으로 계단형으로 되어 있으며,상기 수지층의 두께는, 상기 수지 시트와 동일한 재료로 제작되며 상기 수지층과 동일한 열저항을 갖는 단층 구조의 비교 대상 샘플의 두께보다 얇은 것인 웨이퍼 유지대.