[특허]ＥＳＣ 본딩 접착제 부식을 방지하기 위한 방법들 및 장치

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 B23Q-003/15 H02N-013/00
출원번호	10-2019-7031915 (2019-10-28)
공개번호	10-2019-0124348 (2019-11-04)
우선권정보	미국(US) 61/638,908 (2012-04-26)
국제출원번호	PCT/US2012/056617 (2012-09-21)
국제공개번호	WO 2013/162641 (2013-10-31)
번역문제출일자	2019-10-28
DOI	http://doi.org/10.8080/1020197031915
발명자 / 주소	린, 싱 / 미국 *** 뉴욕 웨스트 베이비론 프레스코트 플레이스 * 선, 제니퍼, 와이. / 미국 *** 캘리포니아 마운틴 뷰 오크 헤븐 플레이스 * 반다, 수만트 / 미국 캘리포니아 캘리포니아 새너제이 리오 로블스 로드 이 #**
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	특허법인 남앤남
심사진행상태	거절결정(재심사)
법적상태	거절

초록

본 발명의 실시예들은, 프로세싱 환경에서 프로세싱 환경들로부터 본딩 재료를 차폐(shielding)하기 위한 보호 엘리먼트를 갖는 챔버 컴포넌트들을 제공한다.보호 엘리먼트는, 보호 시일(seal)들, 보호 구조들, 부식 저항성 충전제들, 또는 이들의 조합들을 포함할 수 있다.본 발명의 실시예들은, 프로세싱 챔버에서 사용되는 본딩 재료의 부식을 감소시키고, 따라서, 프로세싱 품질을 개선하며 유지보수 비용을 감소시킨다.

대표청구항

프로세싱 챔버에서 사용하기 위한 장치로서,제 1 표면을 갖는 제 1 컴포넌트;제 2 표면을 갖는 제 2 컴포넌트 ― 상기 제 2 표면은 상기 제 1 컴포넌트의 제 1 표면과 대면(face)함 ―;상기 제 1 표면과 상기 제 2 표면 사이에 배치되고 상기 제 1 컴포넌트와 상기 제 2 컴포넌트를 접합(joining)시키는 본딩(bonding) 재료; 및상기 프로세싱 챔버에서 상기 본딩 재료가 부식되는 것을 방지하기 위한 보호 엘리먼트를 포함하는,프로세싱 챔버에서 사용하기 위한 장치.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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