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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7026405 (2020-09-14) | |
공개번호 | 10-2020-0120714 (2020-10-21) | |
등록번호 | 10-2400945-0000 (2022-05-18) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/633,195 (2018-02-21) | |
국제출원번호 | PCT/US2019/019000 (2019-02-21) | |
국제공개번호 | WO 2019/165102 (2019-08-29) | |
번역문제출일자 | 2020-09-14 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207026405 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-09-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
Si-함유 막 형성 조성물은, 촉매 및/또는 폴리실란, 및 N-H 부재, C-부재, 그리고 Si가 풍부한 퍼하이드로폴리실라잔(상기 퍼하이드로폴리실라잔은 대략 332 달톤 내지 대략 100,000 달톤 범위의 분자량을 갖고 화학식 [-N(SiH3)x(SiH2-)y](여기서, x+y=2일 때 x=0, 1, 또는 2, 및 y=0, 1, 또는 2; 및 x+y=3일 때 x=0, 1 또는 2, 및 y=1, 2, 또는 3)를 갖는 N-H 부재 반복 단위를 포함함)을 포함한다. 또한, 합성 방법 및 이를 사용하기 위한 응용 분야가 개시된다.
a) 촉매 및/또는 폴리실란; 및b) N-H 부재 및 C-부재 퍼하이드로폴리실라잔(상기 퍼하이드로폴리실라잔은 332 달톤 내지 100,000 달톤 범위의 분자량을 갖고 화학식 [-N(SiH3)x(SiH2-)y](여기서, x+y=2일 때 x=0, 1, 또는 2, 및 y=0, 1, 또는 2; 및 x+y=3일 때 x=0, 1 또는 2, 및 y=1, 2, 또는 3)를 갖는 N-H 부재 반복 단위를 포함함)을 포함하고, 상기 N-H 부재는 모든 N 원자의 1% 미만이 N-H 결합을 가지는 것을 의미하고, 상기 촉매는 탈실릴화 결합 촉매, 탈
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