최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2012-7013762 (2012-05-25) |
공개번호 | 10-2012-0099448 (2012-09-10) |
국제출원번호 | PCT/US2010/053946 (2010-10-25) |
국제공개번호 | WO2011053551 (2011-05-05) |
번역문제출일자 | 2012-05-25 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020127013762 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
폴리실란-폴리실라잔 코폴리머는 화학식 (I)의 폴리실란 단위, 및 화학식 (II)의 폴리실라잔 단위를 함유한다.폴리실란-폴리실라잔 코폴리머는 용매와 함께 조성물에 포뮬레이션될 수 있다.폴리실란-폴리실라잔 코폴리머는 PMD 및 STI 적용에서, 트렌치 충전을 위해 사용될 수 있으며, 여기서, 트렌치는 100 nm 또는 미만의 폭, 및 6 이상의 종횡비를 갖는다.폴리실란-폴리실라잔 코폴리머는 분자 당 2개 이상의 규소 원자를 갖는 퍼클로로 폴리실란을 1차 아민과 아민화시킴으로써 제조될 수 있다.상기 식에서, R1 및 R2는 각각 독립적
화학식 의 폴리실란 단위, 및 화학식 의 폴리실라잔 단위 [여기서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 H, Si, 및 N 원자로부터 선택되며, R3은 H, Si, 또는 C 원자로부터 선택되며, a ≥ 1, b ≥ 1, 및 (a + b) ≥ 2]를 포함하는 폴리실란-폴리실라잔 코폴리머로서, SiC 결합이 존재하지 않는 코폴리머.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.