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연합인증

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정전 척 장치 및 그 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • B23Q-003/15
  • H01J-037/32
  • H01L-021/67
  • H01L-021/687
  • H02N-013/00
출원번호 10-2020-7027998 (2020-09-28)
공개번호 10-2020-0138243 (2020-12-09)
등록번호 10-2675440-0000 (2024-06-11)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2018-066941 (2018-03-30)
국제출원번호 PCT/JP2019/012799 (2019-03-26)
국제공개번호 WO 2019/189141 (2019-10-03)
번역문제출일자 2020-09-28
DOI http://doi.org/10.8080/1020207027998
발명자 / 주소
  • 히다카 노부히로 / 일본국 도쿄도 지요다구 로쿠반쵸 *-** 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 내
  • 기무라 나오토 / 일본국 도쿄도 지요다구 로쿠반쵸 *-** 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 / 일본국 도쿄도 미나토쿠 히가시신바시 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인(유)화우
심사청구여부 있음 (2022-03-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

이 정전 척 장치(1)는, 일주면이 판상 시료를 재치하는 재치면(19)인 기체(11)와, 기체(11)에 있어서, 재치면(19)과는 반대 측에 마련된 정전 흡착용 전극(13)을 구비하고, 기체(11)는 세라믹스 재료를 형성 재료로 하며, 세라믹스 재료는, 산화 알루미늄과 탄화 규소를 주성분으로 하고, 상기 산화 알루미늄의 입계에 층상의 그래핀이 존재한다.

대표청구항

일주면이 판상 시료를 재치하는 재치면인 기체와,상기 기체에 있어서, 상기 재치면과는 반대 측에 마련된 정전 흡착용 전극을 구비하고,상기 기체는 세라믹스 재료를 형성 재료로 하며,상기 세라믹스 재료는, 산화 알루미늄과 탄화 규소를 주성분으로 하고, 상기 산화 알루미늄의 입계에 층상의 그래핀이 존재하는 소결체이고,상기 세라믹스 재료에 포함되는 탄화 규소의 총량에 대한 그래핀의 양은 0.1~10체적%인, 정전 척 장치.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 정전척용 세라믹 소결체 및 그 제조방법 | 김종영, 최기범, 조우석, 김병학, 백승우
    상세보기
  2. [일본] ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE | KOSAKAI MAMORU, HIDAKA NOBUHIRO, KUGIMOTO HIROKUNI
    상세보기

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