최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2016-0074242 (2016-06-15) | |
공개번호 | 10-2017-0141340 (2017-12-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160074242 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2016-06-15) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은, 정전척에 사용되는 소재에 있어서, 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 복합화된 소결체이고, 상기 소결체에서 상기 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 상기 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질은 1:90∼100의 부피비를 이루는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 높은 비저항 및 유전율을 갖고, 유전손실이
정전척에 사용되는 소재에 있어서, 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 복합화된 소결체이고, 상기 소결체에서 상기 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 상기 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질은 1:90∼100의 부피비를 이루는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.