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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7036942 (2020-12-22) | |
공개번호 | 10-2021-0022001 (2021-03-02) | |
우선권정보 | 유럽특허청(EPO)(EP) 18179320.9 (2018-06-22);유럽특허청(EPO)(EP) 18203954.5 (2018-11-01) | |
국제출원번호 | PCT/EP2019/063895 (2019-05-29) | |
국제공개번호 | WO 2019/243009 (2019-12-26) | |
번역문제출일자 | 2020-12-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207036942 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
실리콘 카바이드 이외의 재료를 포함하는 코어, 실리콘 카바이드 접착 층, 및 루테늄 캡핑 층을 포함하는 펠리클으로서, 상기 루테늄 캡핑 층이 상기 실리콘 카바이드 접착 층과 접촉하는, 펠리클. 또한, (i) 펠리클 코어를 제공하는 단계; (ii) 상기 펠리클 코어 상에 실리콘 카바이드 접착 층을 제공하는 단계; 및 (iii) 상기 실리콘 카바이드 접착 층과 접촉하는 루테늄 캡핑 층을 제공하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법이 설명된다. 또한 EUV 펠리클에서 접착 층으로서 실리콘 카바이드의 용도 그리고 어셈블리가 제공된다.
펠리클 코어;실리콘 카바이드 접착 층; 및루테늄 캡핑 층으로서, 상기 실리콘 카바이드 접착 층과 접촉하는, 상기 루테늄 캡핑 층을 포함하는 펠리클.
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