[특허]EUV 리소그래피를 위한 펠리클

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-001/62 G03F-001/22 G03F-007/20
출원번호	10-2021-7014746 (2021-05-14)
공개번호	10-2021-0090189 (2021-07-19)
우선권정보	유럽특허청(EPO)(EP) 18206667.0 (2018-11-16);유럽특허청(EPO)(EP) 19151377.9 (2019-01-11)
국제출원번호	PCT/EP2019/078655 (2019-10-22)
국제공개번호	WO 2020/099072 (2020-05-22)
번역문제출일자	2021-05-14
DOI	http://doi.org/10.8080/1020217014746
발명자 / 주소	반 조울, 피터-잔 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 돈메즈, 인시 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 지에스베르스, 아드리아누스, 요하네스, 마리아 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 호우벨링, 조머, 실베스터 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 클레인, 알렉산더, 루드비그 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 클루트비크, 요한, 헨드릭 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 쿠르가노바, 예브게니아 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 노텐붐, 아르누드, 빌렘 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 시, 파이 통 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 반 데르 부르드, 티에스, 바우터 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 * 반 클라이, 마르쿠스, 제라르두스. 마르티누스, 마리아 / 네덜란드, ** 아하 벨트호벤, 피.오.박스 *
출원인 / 주소	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. / 네덜란드 ** 아하 벨트호벤 피.오.박스 *
대리인 / 주소	특허법인(유)화우
법적상태	공개

초록

프레임; 및 프레임에 의해 지지되는 멤브레인을 포함하는 EUV 리소그래피를 위한 펠리클이 개시되고, 멤브레인은 금속 또는 반금속 층을 포함하며, 멤브레인은 적어도 ㎛2 당 5의 밀도로 기공들을 포함한다.멤브레인은 금속 또는 반금속 층을 지지하는 기판 층을 가질 수 있으며, 기판 층은 예를 들어 실리콘 온 인슐레이터로부터 얻어진 실리콘 또는 폴리실리콘을 포함한다.

대표청구항

EUV 리소그래피를 위한 펠리클(pellicle)로서,프레임; 및상기 프레임에 의해 지지되는 멤브레인(membrane)을 포함하고, 상기 멤브레인은:금속 또는 반금속 층을 포함하며,상기 멤브레인은 적어도 ㎛2 당 5의 밀도로 기공(pore)들을 포함하는 펠리클.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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