초록

유전 박막 구조체 및 이를 포함하는 전자 소자가 개시된다. 개시된 유전 박막 구조체는,기판; 및 상기 기판에 마련되는 것으로, 정방정계(tetragonal system)의 결정구조를 가지는 유전체층;을 포함한다. 상기 유전체층은 결정격자(crystal lattice)의 <hk0>, <h00> 또는 <0k0> 방향(여기서, h,k는 자연수)이 out-of-plane 방향과 나란하거나 out-of-plane 방향에 대해 45도 보다 작은 각도를 가지는 결정립들을 포함할 수 있다.

대표청구항

기판; 및상기 기판에 마련되는 것으로, 정방정계(tetragonal system)의 결정구조를 가지는 유전체층;을 포함하며,상기 유전체층은 결정격자(crystal lattice)의 <hk0>, <h00> 또는 <0k0> 방향(여기서, h,k는 자연수)이 out-of-plane 방향과 나란하거나 out-of-plane 방향에 대해 45도 보다 작은 각도를 가지는 결정립들을 포함하는 유전 박막 구조체.

기판; 및상기 기판에 마련되는 것으로, 정방정계(tetragonal system)의 결정구조를 가지는 유전체층;을 포함하며,상기 유전체층은 결정격자(crystal lattice)의 <hk0>, <h00> 또는 <0k0> 방향(여기서, h,k는 자연수)이 out-of-plane 방향과 나란하거나 out-of-plane 방향에 대해 45도 보다 작은 각도를 가지는 결정립들을 포함하는 유전 박막 구조체.