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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0017866 (2021-02-08) | |
공개번호 | 10-2022-0114406 (2022-08-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210017866 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
유전 박막 구조체 및 이를 포함하는 전자 소자가 개시된다. 개시된 유전 박막 구조체는,기판; 및 상기 기판에 마련되는 것으로, 정방정계(tetragonal system)의 결정구조를 가지는 유전체층;을 포함한다. 상기 유전체층은 결정격자(crystal lattice)의 <hk0>, <h00> 또는 <0k0> 방향(여기서, h,k는 자연수)이 out-of-plane 방향과 나란하거나 out-of-plane 방향에 대해 45도 보다 작은 각도를 가지는 결정립들을 포함할 수 있다.
기판; 및상기 기판에 마련되는 것으로, 정방정계(tetragonal system)의 결정구조를 가지는 유전체층;을 포함하며,상기 유전체층은 결정격자(crystal lattice)의 <hk0>, <h00> 또는 <0k0> 방향(여기서, h,k는 자연수)이 out-of-plane 방향과 나란하거나 out-of-plane 방향에 대해 45도 보다 작은 각도를 가지는 결정립들을 포함하는 유전 박막 구조체.
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