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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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유량 측정 방법 및 유량 측정 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01F-001/34
  • G01F-001/20
  • G01F-001/50
  • G01F-015/00
  • G01F-015/02
출원번호 10-2021-0018090 (2021-02-09)
공개번호 10-2021-0106901 (2021-08-31)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2020-028490 (2020-02-21)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210018090
발명자 / 주소
  • 마츠다 리사코 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 *반 도쿄 엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 하야사카 신이치로 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 *반 도쿄 엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 오이에 마나부 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 *반 도쿄 엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 쇼우지 게이타 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 *반 도쿄 엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 제일특허법인(유)
법적상태 공개

초록 ▼

[과제] 가스의 유량을 고정밀도로 측정할 수 있는 유량 측정 방법 등을 제공한다.[해결 수단] 유량 측정 방법은 제 1, 제 2 유로의 가스의 제 1 압력을 측정한다.유량 측정 방법은, 제 1 유로로의 가스의 공급과 정지를 반복하여 제 1, 제 2 유로에 가스를 공급한다.유량 측정 방법은, 가스 공급 시에 각 개방 신호로부터 폐쇄 신호 사이의 가스 공급 시간을 측정한다.유량 측정 방법은 제 1, 제 2 유로의 가스의 제 2 압력과 온도를 측정한다.유량 측정 방법은 제 1, 제 2 유로 사이를 폐쇄하고 제 2 유로로부터 가스가 배기된

대표청구항 ▼

유량 제어기에 접속되는 제 1 유로와, 상기 제 1 유로에 접속되는 제 2 유로에 충전되어 있는 가스의 제 1 압력을 측정하는 것과,상기 제 1 압력이 측정된 후에, 상기 유량 제어기를 거쳐서 상기 제 1 유로에 가스를 공급하는 것과, 상기 유량 제어기를 거쳐서 가스가 상기 제 1 유로에 공급되기 시작한 타이밍으로부터 소정 시간이 경과한 후에, 상기 유량 제어기를 거쳐서 가스를 상기 제 1 유로에 공급하는 것을 정지하는 것이 복수 회 반복되는 것에 의해, 상기 제 1 유로와 상기 제 2 유로에 가스를 공급하는 것과,상기 제 1 유로

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