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연합인증

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인공지능 기반의 제조공정 품질검사 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G06N-003/08
  • G05B-019/418
  • G05B-023/02
  • G06N-003/04
  • G06N-005/02
출원번호 10-2021-0037416 (2021-03-23)
등록번호 10-2367597-0000 (2022-02-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210037416
발명자 / 주소
  • 하승재 / 서울특별시 마포구 양화로*길 **-*, ***호(서교동, 성보빌라트)
출원인 / 주소
  • 주식회사 에이아이비즈 / 서울특별시 마포구 양화로*길 **-* ,*층(합정동)
대리인 / 주소
  • 임상엽; 이장주; 권정기
심사청구여부 있음 (2021-03-23)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명의 인공지능 기반의 제조공정 품질검사 시스템에 따르면, 제조장비의 제조공정에서 사용되는 센서로부터 기 획득된 학습데이터를 준비하는 (a)단계; 상기 학습데이터를 뉴럴 네트워크 모델 기반의 오토인코더로 학습시키는 (b)단계; 상기 학습데이터와 상기 오토인코더로 학습한 결과데이터를 비교하여 학습결과를 확인하는 (c)단계; 상기 학습결과가 정상인 경우, 상기 학습데이터와 결과데이터의 값을 분석하여 문턱값을 추출하는 (d)단계; 및 상기 제조장비를 통한 제조공정 시, 상기 센서로부터 실시간 획득되는 센서값이 상기 문턱값 이상일 경우

대표청구항

제조장비의 제조공정에서 사용되는 센서로부터 기 획득된 학습데이터를 준비하는 (a)단계; 상기 학습데이터를 뉴럴 네트워크 모델 기반의 오토인코더로 학습시키는 (b)단계; 상기 학습데이터와 상기 오토인코더로 학습한 결과데이터를 비교하여 학습결과를 확인하는 (c)단계; 상기 학습결과가 정상인 경우, 상기 학습데이터와 상기 결과데이터의 값을 분석하여 문턱값을 추출하는 (d)단계; 및 상기 제조장비를 통한 제조공정 시, 상기 센서로부터 실시간 획득되는 센서값이 상기 문턱값 이상일 경우 비정상 공정으로 판단하고, 상기 문턱값 미만일 경우 정상

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 반도체 제조 공정에서 고장 검출 및 불량 원인 진단을 위한 방법 | 김창욱, 장재연
  2. [미국] APPARATUS AND METHOD FOR ESTIMATING ANOMALY INFORMATION, AND PROGRAM | IKEDA, Yasuhiro, ISHIBASHI, Keisuke, NAKANO, Yusuke, WATANABE, Keishiro, KAWAHARA, Ryoichi
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