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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0060646 (2021-05-11) | |
공개번호 | 10-2022-0153275 (2022-11-18) | |
등록번호 | 10-2590920-0000 (2023-10-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210060646 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 표면 처리된 연마입자 및 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 방향족 화합물로 표면 처리된 콜로이달 세리아 입자;를 포함하고, 상기 방향족 화합물은 단일 고리이고, 상기 고리 내 오르소 및 파라 위치에 활성화 치환기를 갖는 것인, 표면 처리된 연마입자 및 이를 포함하는 연마 슬러리 조성물에 관한 것이다.
방향족 화합물로 표면 처리된 콜로이달 세리아 입자;를 포함하고,상기 방향족 화합물은 단일 고리이고, 상기 고리 내 오르소 및 파라 위치에 활성화 치환기를 갖는 것이고,상기 콜로이달 세리아 입자는, 15 nm 내지 80 nm 사이즈의 1차 입자 및 30 nm 내지 200 nm 사이즈의 2차 입자를 포함하는 것인, 표면 처리된 연마입자.
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