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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0100605 (2021-07-30) | |
공개번호 | 10-2023-0018734 (2023-02-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210100605 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-07-30) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브가 개시된다.이러한 본 발명은, 가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브는, 일측에 실린더 가스 어댑터(CGA)가 연결되는 가스 용기; 상기 가스 용기의 실린더 가스 어댑터와 연결되며, 가스 용기 내의 공정가스가 유동되는 CGA 라인; 상기 CGA 라인과 연결되어 기 결정된 공정 라인으로 공정가스를 공급하는 공정 라인; 상기 CGA 라인과 공정 라인 상에 연결
일측에 실린더 가스 어댑터(CGA)(112)가 연결되는 가스 용기(110); 상기 가스 용기(110)의 실린더 가스 어댑터(112)와 연결되며, 가스 용기 내의 공정가스가 유동되는 CGA 라인(120); 상기 CGA 라인(120)과 연결되어 기 결정된 공정 라인으로 공정가스를 공급하는 공정 라인(130); 상기 CGA 라인(120)과 공정 라인(130) 상에 연결되며 질소가스(N2)를 통해 상기 CGA 라인(120)과 공정 라인(130)을 퍼지(purge)하는 퍼지 라인(140); 상기 CGA 라인(120) 상에 구비되어 CGA 라
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