초록 ▼

가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브가 개시된다.이러한 본 발명은, 가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브는, 일측에 실린더 가스 어댑터(CGA)가 연결되는 가스 용기; 상기 가스 용기의 실린더 가스 어댑터와 연결되며, 가스 용기 내의 공정가스가 유동되는 CGA 라인; 상기 CGA 라인과 연결되어 기 결정된 공정 라인으로 공정가스를 공급하는 공정 라인; 상기 CGA 라인과 공정 라인 상에 연결

가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브가 개시된다.이러한 본 발명은, 가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브는, 일측에 실린더 가스 어댑터(CGA)가 연결되는 가스 용기; 상기 가스 용기의 실린더 가스 어댑터와 연결되며, 가스 용기 내의 공정가스가 유동되는 CGA 라인; 상기 CGA 라인과 연결되어 기 결정된 공정 라인으로 공정가스를 공급하는 공정 라인; 상기 CGA 라인과 공정 라인 상에 연결되며 질소가스(N2)를 통해 상기 CGA 라인과 공정 라인을 퍼지(purge)하는 퍼지 라인; 상기 CGA 라인 상에 구비되어 CGA 라인 및 공정 라인 상에 잔존하는 가스를 배출하는 진공 라인; 이 구비된 공정 가스 공급 가스 캐비닛의 실린더 밸브에 있어서, 상기 실린더 밸브는, 상기 가스 용기의 실린더 가스 어댑터의 일측에 위치하되, 퍼지 라인과 연결되도록 구성될 수 있다.

대표청구항 ▼

일측에 실린더 가스 어댑터(CGA)(112)가 연결되는 가스 용기(110); 상기 가스 용기(110)의 실린더 가스 어댑터(112)와 연결되며, 가스 용기 내의 공정가스가 유동되는 CGA 라인(120); 상기 CGA 라인(120)과 연결되어 기 결정된 공정 라인으로 공정가스를 공급하는 공정 라인(130); 상기 CGA 라인(120)과 공정 라인(130) 상에 연결되며 질소가스(N2)를 통해 상기 CGA 라인(120)과 공정 라인(130)을 퍼지(purge)하는 퍼지 라인(140); 상기 CGA 라인(120) 상에 구비되어 CGA 라

일측에 실린더 가스 어댑터(CGA)(112)가 연결되는 가스 용기(110); 상기 가스 용기(110)의 실린더 가스 어댑터(112)와 연결되며, 가스 용기 내의 공정가스가 유동되는 CGA 라인(120); 상기 CGA 라인(120)과 연결되어 기 결정된 공정 라인으로 공정가스를 공급하는 공정 라인(130); 상기 CGA 라인(120)과 공정 라인(130) 상에 연결되며 질소가스(N2)를 통해 상기 CGA 라인(120)과 공정 라인(130)을 퍼지(purge)하는 퍼지 라인(140); 상기 CGA 라인(120) 상에 구비되어 CGA 라인(120) 및 공정 라인 상에 잔존하는 가스를 배출하는 진공 라인(160); 상기 CGA 라인(120) 상에 구비되어 CGA 라인(120) 및 공정 라인(130)상에 잔존하는 가스를 배출하는 배기 라인(170)이 구비된 공정 가스 공급 가스 캐비닛의 공급라인조절 실린더 밸브에 있어서,상기 공급라인조절 실린더 밸브(150)는, 상기 가스 용기(110)의 실린더 가스 어댑터(112)의 일측에 위치하되, 퍼지 라인(140)과 연결되는 것을 특징으로 하는 가스 용기의 일측에 위치하는 퍼지 라인과 연결되어 공정 가스의 공급 라인을 조절하는 공급라인조절 실린더 밸브.