초록 ▼

본 발명은 극초단 펄스 레이저, 특히 펨토초 레이저를 이용하여 마이크로 홀을 가공하는 방법에 관한 것으로, 박막시트의 분리와 적층에 사용되는 진공플레이트에 형성되는 마이크로 홀 내면의 표면 거칠기를 향상시키면서도 진원도와 원통도를 확보하여 마이크로 홀의 품질을 높이고, 가공속도의 향상에 따른 생산성을 극대화할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 펨토초 레이저를 이용한 마이크로 홀의 가공방법은, 박막 세라믹 시트, 박막 금속 시트, 박막 코팅 필름 등을 흡착하여 이송하고 적층하기 위한 상부금형에 형성되는 마이크로 홀의 가공방법에

본 발명은 극초단 펄스 레이저, 특히 펨토초 레이저를 이용하여 마이크로 홀을 가공하는 방법에 관한 것으로, 박막시트의 분리와 적층에 사용되는 진공플레이트에 형성되는 마이크로 홀 내면의 표면 거칠기를 향상시키면서도 진원도와 원통도를 확보하여 마이크로 홀의 품질을 높이고, 가공속도의 향상에 따른 생산성을 극대화할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 펨토초 레이저를 이용한 마이크로 홀의 가공방법은, 박막 세라믹 시트, 박막 금속 시트, 박막 코팅 필름 등을 흡착하여 이송하고 적층하기 위한 상부금형에 형성되는 마이크로 홀의 가공방법에 있어서,상기 상부금형의 두께방향으로 n(n은 2이상의 자연수)개의 단층을 설정하고, 상기 단층 표면에 펨토초 레이저를 소정의 패턴으로 조사하여 차기의 단층까지의 두께로 홀을 2D 가공하고, Z축 방향으로 1/n 씩 상기 레이저의 초점을 하강시키면서 순차적으로 상기 단층에 상기 펨토초 레이저를 조사함으로써 홀을 천공하는 단계와;상기 홀의 내면을 따라 상기 펨토초 레이저를 3D 형상으로 조사함으로써 가공할 상기 마이크로 홀의 직경치수를 맞추고 홀 내면의 표면거칠기를 향상시키는 보오링 단계와; 레이저 가공시에 발생할 수 있는 버(burr)의 생성 및 박막 시트의 눌림, 뜯김, 찢김현상 등의 박막 시트의 손상을 방지하기 위해 상기 홀의 입구측 가장자리 주변을 챔퍼링하거나 라운딩 가공하는 단계; 를 포함하여 구성된 펨토초 레이저를 이용한 마이크로 홀 가공방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

박막 세라믹 시트, 박막 금속 시트, 박막 코팅 필름 등을 흡착하여 이송하고 적층하기 위한 상부금형에 형성되는 마이크로 홀의 가공방법에 있어서,상기 상부금형의 두께방향으로 n(n은 2이상의 자연수)개의 단층을 설정하고, 상기 단층 표면에 펨토초 레이저를 소정의 패턴으로 조사하여 차기의 단층까지의 두께로 홀을 2D 가공하고, Z축 방향으로 1/n 씩 상기 레이저의 초점을 하강시키면서 순차적으로 상기 단층에 상기 펨토초 레이저를 조사함으로써 홀을 천공하는 단계와;상기 홀의 내면을 따라 상기 펨토초 레이저를 3D 형상으로 조사함으로써 가

박막 세라믹 시트, 박막 금속 시트, 박막 코팅 필름 등을 흡착하여 이송하고 적층하기 위한 상부금형에 형성되는 마이크로 홀의 가공방법에 있어서,상기 상부금형의 두께방향으로 n(n은 2이상의 자연수)개의 단층을 설정하고, 상기 단층 표면에 펨토초 레이저를 소정의 패턴으로 조사하여 차기의 단층까지의 두께로 홀을 2D 가공하고, Z축 방향으로 1/n 씩 상기 레이저의 초점을 하강시키면서 순차적으로 상기 단층에 상기 펨토초 레이저를 조사함으로써 홀을 천공하는 단계와;상기 홀의 내면을 따라 상기 펨토초 레이저를 3D 형상으로 조사함으로써 가공할 상기 마이크로 홀의 직경치수를 맞추고 홀 내면의 표면거칠기를 향상시키는 보오링 단계와; 레이저 가공시에 발생할 수 있는 버(burr)의 생성 및 박막 시트의 눌림, 뜯김, 찢김현상 등의 박막 시트의 손상을 방지하기 위해 갈바노미터의 x-y축 모션과 빔익스펜더의 z축 모션을 조합하는 제어를 통해 상기 홀의 입구측 가장자리 주변을 챔퍼링하거나 라운딩 가공하는 단계; 를 포함하여 구성된 펨토초 레이저를 이용한 박막시트 적층용 상부금형의 마이크로 홀의 가공방법.