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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0141620 (2021-10-22) | |
공개번호 | 10-2023-0058209 (2023-05-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210141620 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
일 실시예에 따른 증발원은 증착 재료가 수용되는 도가니, 그리고 상기 도가니의 적어도 일부를 둘러싸는 가열부를 포함한다. 상기 가열부는 발열체 및 상기 발열체의 양단에 위치하는 전극을 포함하는 히터, 상기 발열체를 둘러싸는 커버, 그리고 상기 커버가 고정되는 프레임을 포함한다.
증착 재료가 수용되는 도가니, 그리고 상기 도가니의 적어도 일부를 둘러싸는 가열부를 포함하며, 상기 가열부는 발열체 및 상기 발열체의 양단에 위치하는 전극을 포함하는 히터, 상기 발열체를 둘러싸는 커버, 그리고 상기 커버가 고정되는 프레임을 포함하는 증발원.
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