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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0148103 (2021-11-01) | |
공개번호 | 10-2023-0063162 (2023-05-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210148103 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-11-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명에 따른 인라인 이송시스템은, 좌측 및 우측 이송레일과, 상기 이송레일을 따라 이송되며 마스크와 기판 및 자석판이 탑재되는 셔틀과, 상기 셔틀이 이송레일을 따라 이송되도록 하는 이송수단을 포함하여 이루어진다. 상기 셔틀은 서로 평행하게 이격 배치되어 좌측 및 우측 이송레일에 이송 가능하게 대응되는 좌측 및 우측 받침대와, 상기 양측 받침대를 연결하는 브릿지를 포함하며, 상기 좌측 및 우측 받침대에는 상기 마스크의 양선단이 각각 안착되며, 상기 브릿지는 상기 마스크와 기판 및 자석판의 상방을 가로질러 상기 좌측 및 우측 받침대
좌측 및 우측 이송레일과, 상기 이송레일을 따라 이송되며 마스크와 기판 및 자석판이 탑재되는 셔틀과, 상기 셔틀이 이송레일을 따라 이송되도록 하는 이송수단을 포함하여 이루어지며,상기 셔틀은 서로 평행하게 이격 배치되어 좌측 및 우측 이송레일에 이송 가능하게 대응되는 좌측 및 우측 받침대와, 상기 양측 받침대를 연결하는 브릿지를 포함하며, 상기 좌측 및 우측 받침대에는 상기 마스크의 양선단이 각각 안착되며, 상기 브릿지는 상기 마스크와 기판 및 자석판의 상방을 가로질러 상기 좌측 및 우측 받침대를 연결하도록 구성되는 것을 특징으로 하
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