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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0148998 (2021-11-02) | |
공개번호 | 10-2022-0102550 (2022-07-20) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210004610 (2021-01-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210148998 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-11-02) | |
법적상태 | 공개 |
본원은 연마 입자 및 유체를 포함하는 용액을 준비하는 단계, 상기 용액이 다공성 멤브레인 필터 영역을 통과하는 단계, 및 상기 영역을 통과한 용액에서 유체를 제거하여 연마용 슬러리를 제조하는 단계를 포함하고, 상기 용액이 상기 영역을 통과하는 단계에서, 십자 흐름 여과 방식(Tangential Flow Filtration)에 의해 상기 연마 입자 중 평균 입자 크기(mean particle size)가 100 nm 이하인 것이 제거되는 것인, 연마용 슬러리의 제조 방법에 관한 것이다.
연마 입자 및 유체를 포함하는 용액을 준비하는 단계;상기 용액이 다공성 멤브레인 필터 영역을 통과하는 단계; 및상기 영역을 통과한 용액에서 유체를 제거하여 연마용 슬러리를 제조하는 단계; 를 포함하고,상기 용액이 상기 영역을 통과하는 단계에서, 십자 흐름 여과 방식(Tangential Flow Filtration)에 의해 상기 연마 입자 중 평균 입자 크기(mean particle size)가 100 nm 이하인 것이 제거되는 것인, 연마용 슬러리의 제조 방법.
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