[특허]위상마스크 및 3차원 미세 구조체를 제조하는 방법

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[한국특허] 위상마스크 및 3차원 미세 구조체를 제조하는 방법
PHASE MASK AND METHOD OF MANUFACTURING THREE-DEMENTIONAL MICRO-STRUCTRE 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-001/50
출원번호	10-2021-0154485 (2021-11-11)
공개번호	10-2023-0068563 (2023-05-18)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020210154485
발명자 / 주소	전석우 / 대전광역시 유성구 대학로 * (구성동) 신종화 / 대전광역시 유성구 대학로 (구성동) 남상현 / 대전광역시 유성구 대학로 (구성동) 김명준 / 대전광역시 유성구 대학로 (구성동) 김나영 / 대전광역시 유성구 대학로 **(구성동)
출원인 / 주소	한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소	노경규
심사청구여부	있음 (2021-11-11)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	공개

초록

본 발명은 위상마스크에 관한 것으로, 대칭 또는 비대칭의 패턴을 갖는 고굴절률 물질로 이루어진 제1층 및 상기 제1층 상에 형성되며 탄성중합체로 이루어지는 제2층을 포함하는 위상마스크가 제공된다.본 발명의 위상마스크는 고굴절률 물질과 탄성중합체를 함께 구성하여, 입사광의 위상 및 회절 특성의 조절을 효과적으로 수행할 수 있는 동시에 노광 공정을 안정적으로 수행할 수 있다.

대표청구항

대칭 또는 비대칭의 패턴을 갖는 고굴절률 물질로 이루어진 제1층; 및상기 제1층 상에 형성되며 탄성중합체로 이루어지는 제2층;을 포함하는 위상마스크.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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