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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0162163 (2021-11-23) | |
공개번호 | 10-2022-0071930 (2022-05-31) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020200159320 (2020-11-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210162163 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-11-23) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 탄탈 화합물, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 탄탈 함유 박막증착용 조성물을 제공하는 것으로, 본 발명의 탄탈 함유 박막증착용 조성물은 열안정성이 우수하고 휘발성이 높은 본 발명의 탄탈 화합물을 포함함으로써 양질의 박막을 제조할 수 있다.
하기 화학식 1로 표시되는 탄탈 화합물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R은 C1-C10알킬이며,A1 내지 A3은 서로 독립적으로 C1-C10알킬렌이며;R1 내지 R9는 서로 독립적으로 수소, C1-C10알킬 또는 C2-C10알케닐이다.
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