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연합인증

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탄탈 화합물, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 탄탈 함유 박막증착용 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C07F-009/00
  • C23C-016/18
  • C23C-016/22
출원번호 10-2021-0162163 (2021-11-23)
공개번호 10-2022-0071930 (2022-05-31)
우선권정보 대한민국(KR) 1020200159320 (2020-11-24)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210162163
발명자 / 주소
  • 이경은 / 경기도 안양시 동안구 달안로 **, ***-***
  • 김은혜 / 부산광역시 금정구 부곡로**번길 **, ***-****
  • 박주호 / 대전광역시 중구 목동로 **, ***-****
  • 김철기 / 세종특별자치시 연서면 당산로 *** 대원네스트빌아파트 ***-***
  • 임명용 / 충청남도 천안시 동남구 목천읍 삼성*길 **, ***-***
  • 백성윤 / 세종특별자치시 남세종로 *** 호려울마을*단지 ***-***
  • 나용환 / 세종특별자치시 전의면 운주산로 **** 민석그린아파트 ***-***
출원인 / 주소
  • 주식회사 레이크머티리얼즈 / 세종특별자치시 전의면 산단길 **-*** ((주)레이크머티리얼즈)
대리인 / 주소
  • 특허법인 플러스
심사청구여부 있음 (2021-11-23)
법적상태 공개

초록

본 발명은 탄탈 화합물, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 탄탈 함유 박막증착용 조성물을 제공하는 것으로, 본 발명의 탄탈 함유 박막증착용 조성물은 열안정성이 우수하고 휘발성이 높은 본 발명의 탄탈 화합물을 포함함으로써 양질의 박막을 제조할 수 있다.

대표청구항

하기 화학식 1로 표시되는 탄탈 화합물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R은 C1-C10알킬이며,A1 내지 A3은 서로 독립적으로 C1-C10알킬렌이며;R1 내지 R9는 서로 독립적으로 수소, C1-C10알킬 또는 C2-C10알케닐이다.

발명자의 다른 특허 :

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