초록 ▼

본 발명은 향상된 증착 효율을 가지는 OVD 공정을 통한 합성 석영유리 제조방법 에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, OVD 방식 등으로 중공 실린더 형상의 합성 석영유리 제품 제조 시, 종래 기술에 따라 염화규소(SiCl4)를 사용하는 방식 대비, 염소를 현저히 적게 사용한다는 점에서 친환경적이며, 별도의 처리시설이 요구되지 않아 경제적이다.또한, 옥타메틸시클로테트라실록산을 고압 캐리어 가스와 함께 액적 형태로 분사하여 증착 버너로 공급시키고, 증착 버너에 의해 기화를 수행시키는 방식으로 인해, 옥타메틸시클로테트라실록산([(CH

본 발명은 향상된 증착 효율을 가지는 OVD 공정을 통한 합성 석영유리 제조방법 에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, OVD 방식 등으로 중공 실린더 형상의 합성 석영유리 제품 제조 시, 종래 기술에 따라 염화규소(SiCl4)를 사용하는 방식 대비, 염소를 현저히 적게 사용한다는 점에서 친환경적이며, 별도의 처리시설이 요구되지 않아 경제적이다.또한, 옥타메틸시클로테트라실록산을 고압 캐리어 가스와 함께 액적 형태로 분사하여 증착 버너로 공급시키고, 증착 버너에 의해 기화를 수행시키는 방식으로 인해, 옥타메틸시클로테트라실록산([(CH3)2SiO]4)을 이산화규소 입자 증착을 위한 소스원으로 사용 시 요구되는 고온 가열 및 느린 분해속도를 효과적으로 해결할 수 있다.

대표청구항

종방향 내지 횡방향 축을 중심으로 회전하는 멘드렐(Mandrel)의 원통 외면 상에 이산화규소(SiO2) 입자를 증착시켜 다공성 중공 실린더 형상의 슈트체를 형성한 다음, 소결시켜 합성 석영유리를 제조하되, 상기 증착 공정 간 이산화규소 입자 증착을 위한 소스원으로서 옥타메틸시클로테트라실록산([(CH3)2SiO]4)을 사용하고, 상기 소스원의 분해를 촉진하기 위해 할로겐족 원소를 포함하는 가스를 더 사용하는 것을 특징으로 하는, 합성 석영유리 제조방법.

종방향 내지 횡방향 축을 중심으로 회전하는 멘드렐(Mandrel)의 원통 외면 상에 이산화규소(SiO2) 입자를 증착시켜 다공성 중공 실린더 형상의 슈트체를 형성한 다음, 소결시켜 합성 석영유리를 제조하되, 상기 증착 공정 간 이산화규소 입자 증착을 위한 소스원으로서 옥타메틸시클로테트라실록산([(CH3)2SiO]4)을 사용하고, 상기 소스원의 분해를 촉진하기 위해 할로겐족 원소를 포함하는 가스를 더 사용하는 것을 특징으로 하는, 합성 석영유리 제조방법.