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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0083092 (2022-07-06) | |
공개번호 | 10-2023-0096814 (2023-06-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220083092 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조기술에 관한 것으로, 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조 공정에 사이드 버너를 이용하여 테이퍼가 제어된 실리더형 합성 쿼츠를 제조하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명은 증착부, 지지부를 포함하는 맨드릴을 구성하며, 사이드 버너를 포함하도록 한다.본 발명에 따른 맨드릴 구성을 활용하여 합성 쿼츠를 제조하면 맨드릴의 증착구간의 유효길이가 최대화되어 생산성을 향상할 수 있다. 또한, 실린더 형상의 합성 쿼츠를 제작할 수 있어 코어링을 생략하고 내부 자재가 낭비되는 것을 방지하여 생산성을 증대하고
반도체용 합성 쿼츠 제조장치에 의해 형성되는 증착물(10)에 있어서,상기 합성 쿼츠 제조장치는,합성 쿼츠를 증착시키기 위한 맨드릴(100) 및상기 맨드릴(100)의 양 측면부를 향해 화염의 일부 또는 전부가 분사되도록 구비되는 사이드 버너(200)를 포함하고,상기 증착물(10)은,내경이 250mm 내지 320mm이고, 외경이 290mm 내지 420mm인 반도체용 링 형상 합성쿼츠를 제작하기 위해,250mm 내지 350mm의 내경을 가지고, 외경이 300mm 내지 700mm의 외경을 갖도록 테이퍼가 제어되는 것을 특징으로 하는 중공구
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