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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0186607 (2021-12-23) | |
등록번호 | 10-2419565-0000 (2022-07-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210186607 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-12-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조기술에 관한 것으로, 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조 공정에 사이드 버너를 이용하여 테이퍼가 제어된 실리더형 합성 쿼츠를 제조하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명은 증착부, 지지부를 포함하는 맨드릴을 구성하며, 사이드 버너를 포함하도록 한다.본 발명에 따른 맨드릴 구성을 활용하여 합성 쿼츠를 제조하면 맨드릴의 증착구간의 유효길이가 최대화되어 생산성을 향상할 수 있다. 또한, 실린더 형상의 합성 쿼츠를 제작할 수 있어 코어링을 생략하고 내부 자재가 낭비되는 것을 방지하여 생산성을 증대하고
반도체용 합성 쿼츠 제조장치에 의해 형성되는 증착물(10)에 있어서,상기 합성 쿼츠 제조장치는,막대 형상의 외면을 따라 증착이 진행되어 외면에 증착물(10)이 형성되는 증착부(110)와, 상기 증착부(110)의 양 끝단에 구비되는 지지부(120)를 포함하는 맨드릴(100) 및상기 맨드릴(100)의 양 측면부를 향해 화염의 일부 또는 전부가 분사되도록 구비되는 사이드 버너(200)를 포함하고,상기 증착물(10)은,내경이 250mm 내지 320mm이고, 외경이 290mm 내지 420mm인 반도체용 링 형상 합성쿼츠를 제작하기 위해,25
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