초록 ▼

본 발명은 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조기술에 관한 것으로, 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조 공정에 사이드 버너를 이용하여 테이퍼가 제어된 실리더형 합성 쿼츠를 제조하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명은 증착부, 지지부를 포함하는 맨드릴을 구성하며, 사이드 버너를 포함하도록 한다.본 발명에 따른 맨드릴 구성을 활용하여 합성 쿼츠를 제조하면 맨드릴의 증착구간의 유효길이가 최대화되어 생산성을 향상할 수 있다. 또한, 실린더 형상의 합성 쿼츠를 제작할 수 있어 코어링을 생략하고 내부 자재가 낭비되는 것을 방지하여 생산성을 증대하고

본 발명은 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조기술에 관한 것으로, 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조 공정에 사이드 버너를 이용하여 테이퍼가 제어된 실리더형 합성 쿼츠를 제조하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명은 증착부, 지지부를 포함하는 맨드릴을 구성하며, 사이드 버너를 포함하도록 한다.본 발명에 따른 맨드릴 구성을 활용하여 합성 쿼츠를 제조하면 맨드릴의 증착구간의 유효길이가 최대화되어 생산성을 향상할 수 있다. 또한, 실린더 형상의 합성 쿼츠를 제작할 수 있어 코어링을 생략하고 내부 자재가 낭비되는 것을 방지하여 생산성을 증대하고 비용을 절감하는 효과가 있으며, 맨드릴의 내경과 증착물의 외경을 적절히 조절하여 원하는 크기의 반도체용 링형상 합성 쿼츠 제작에 용이하게 할 수 있다.

대표청구항 ▼

반도체용 합성 쿼츠 제조장치에 의해 형성되는 증착물(10)에 있어서,상기 합성 쿼츠 제조장치는,막대 형상의 외면을 따라 증착이 진행되어 외면에 증착물(10)이 형성되는 증착부(110)와, 상기 증착부(110)의 양 끝단에 구비되는 지지부(120)를 포함하는 맨드릴(100) 및상기 맨드릴(100)의 양 측면부를 향해 화염의 일부 또는 전부가 분사되도록 구비되는 사이드 버너(200)를 포함하고,상기 증착물(10)은,내경이 250mm 내지 320mm이고, 외경이 290mm 내지 420mm인 반도체용 링 형상 합성쿼츠를 제작하기 위해,25

반도체용 합성 쿼츠 제조장치에 의해 형성되는 증착물(10)에 있어서,상기 합성 쿼츠 제조장치는,막대 형상의 외면을 따라 증착이 진행되어 외면에 증착물(10)이 형성되는 증착부(110)와, 상기 증착부(110)의 양 끝단에 구비되는 지지부(120)를 포함하는 맨드릴(100) 및상기 맨드릴(100)의 양 측면부를 향해 화염의 일부 또는 전부가 분사되도록 구비되는 사이드 버너(200)를 포함하고,상기 증착물(10)은,내경이 250mm 내지 320mm이고, 외경이 290mm 내지 420mm인 반도체용 링 형상 합성쿼츠를 제작하기 위해,250mm 내지 350mm의 내경을 가지도록 상기 증착부(110)의 외경이 250mm 내지 350mm로 구비되고, 외경이 300mm 내지 700mm의 외경을 갖도록 테이퍼가 제어되는 것을 특징으로 하는 중공구조 증착물(10).