최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2021-0192555 (2021-12-30) | |
공개번호 | 10-2023-0102436 (2023-07-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210192555 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
법적상태 | 공개 |
본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증발물질이 수용되는 도가니와; 상기 도가니가 내부에 삽입되고, 상단이 개방되며 바닥에는 제1 쿨링 개구부가 형성되는 증발원 하우징과; 상기 증발원 하우징에 내장되며 상기 도가니의 외주를 따라 배치되며 상기 도가니를 가열하는 히터부와; 상기 증발원 하우징의 하부에 위치하며, 승강에 따라 상기 제1 쿨링 개구부를 통해 상기 도가니에 접촉 또는 비접촉되는 쿨링 접촉부를 구비하는 쿨링 플레이트와; 상기 쿨링 플레이트를 승강시키는 승강부를 포함하는, 증발원이 제공된다.
내부에 증발물질이 수용되는 도가니와;상기 도가니가 내부에 삽입되고, 상단이 개방되며 바닥에는 제1 쿨링 개구부가 형성되는 증발원 하우징과;상기 증발원 하우징에 내장되며 상기 도가니의 외주를 따라 배치되며 상기 도가니를 가열하는 히터부와;상기 증발원 하우징의 하부에 위치하며, 승강에 따라 상기 제1 쿨링 개구부를 통해 상기 도가니에 접촉 또는 비접촉되는 쿨링 접촉부를 구비하는 쿨링 플레이트와;상기 쿨링 플레이트를 승강시키는 승강부를 포함하는, 증발원.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.