초록

본 발명은, 도가니의 미세한 온도 제어가 가능하고, 보다 단시간에 도가니의 온도 분포를 최적화하여 균일한 막두께 분포를 갖는 박막을 성막 가능한 증발원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 증착 재료(1)가 수용되는 도가니(2)에 그 길이 방향을 따라 주(主) 히터(3)를 설치하고, 이 주 히터(3)를 설치한 상기 도가니(2)의 적어도 길이 방향 양단부에 각각 보조 히터(4)를 설치하여, 상기 도가니(2)의 길이 방향 양단부를 상기 주 히터(3) 및 보조 히터(4)로 가열 제어할 수 있도록 구성한다.

대표청구항 ▼

재료를 수용하는 용기와,상기 용기를 가열하는 가열부와,상기 가열부를 제어하는 제어부를 구비한 증발원 장치로서,상기 용기는, 상기 용기의 상면에 설치되고, 상기 용기의 길이 방향을 따라 늘어서는 복수의 방출구를 갖고,상기 가열부는,상기 길이 방향을 따라 연장되는 주(主) 히터와,상기 용기의 상기 길이 방향에 있어서의 제1 단부에 배치된 제1 보조 히터와,상기 용기의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 제1 단부와는 반대측의 제2 단부에 배치된 제2 보조 히터와,상기 제1 보조 히터와 상기 제2 보조 히터 사이에 배치되고, 상기 용기의 상

재료를 수용하는 용기와,상기 용기를 가열하는 가열부와,상기 가열부를 제어하는 제어부를 구비한 증발원 장치로서,상기 용기는, 상기 용기의 상면에 설치되고, 상기 용기의 길이 방향을 따라 늘어서는 복수의 방출구를 갖고,상기 가열부는,상기 길이 방향을 따라 연장되는 주(主) 히터와,상기 용기의 상기 길이 방향에 있어서의 제1 단부에 배치된 제1 보조 히터와,상기 용기의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 제1 단부와는 반대측의 제2 단부에 배치된 제2 보조 히터와,상기 제1 보조 히터와 상기 제2 보조 히터 사이에 배치되고, 상기 용기의 상면의 각각의 방출구의 주위에 배치된 제3, 제4 및 제5 보조 히터를 포함하며,상기 제어부는, 상기 주 히터, 상기 제1 보조 히터, 및 상기 제2 보조 히터에 대해서 오픈 루프 제어를 행하고, 상기 제3 보조 히터 및 상기 제5 보조 히터에 대해서 클로즈 루프 제어를 행하며, 상기 제3 보조 히터와 상기 제5 보조 히터의 사이에 배치된 제4 보조 히터에 대해서 오픈 루프 제어를 행하고, 클로즈 루프 제어의 보조 히터와 오픈 루프 제어의 보조 히터가 교대로 배치되도록 하는것을 특징으로 하는 증발원 장치.