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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7004823 (2021-02-18) | |
공개번호 | 10-2021-0032487 (2021-03-24) | |
등록번호 | 10-2515262-0000 (2023-03-24) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-228266 (2018-12-05) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/031443 (2019-08-08) | |
국제공개번호 | WO 2020/115952 (2020-06-11) | |
번역문제출일자 | 2021-02-18 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217004823 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-02-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
가스의 급격한 체적증가를 억제하고, 기판을 안정적으로 지지하는 정전척, 진공처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것에 있다.본 발명의 일 형태에 따른 정전척은 기판을 지지하는 제1 면과, 상기 제1 면과는 반대측의 제2 면을 가지는 척 플레이트를 구비한다.척 플레이트에는 상기 기판을 상기 제1 면에서 지지했을 때, 상기 기판과 상기 제1 면 사이에서 상기 기판으로부터 방출되는 가스를 상기 기판과 상기 제1 면 사이에서 배기하는 배기로가 설치되어 있다.
기판을 지지하는 제1 면과, 상기 제1 면과는 반대측의 제2 면을 가지며, 탄성체로 구성된 척 플레이트를 구비하고, 상기 기판을 상기 제1 면에서 지지했을 때 상기 기판과 상기 제1 면 사이에서 상기 기판으로부터 방출되는 가스를 상기 기판과 상기 제1 면 사이에서 배기하는 배기로가 설치되고,상기 제1 면에, 복수의 철부와, 상기 복수의 철부를 둘러싸는 환 형상의 철부가 설치되고,상기 복수의 철부의 상기 제1 면으로부터의 높이가 상기 환 형상의 철부의 높이 이하로 구성되고,상기 복수의 철부가 형성된 상기 제1 면에 상기 기판을 재치하
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