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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7036892 (2020-12-22) | |
공개번호 | 10-2021-0011443 (2021-02-01) | |
등록번호 | 10-2461306-0000 (2022-10-26) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-226773 (2018-12-03) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/034003 (2019-08-29) | |
국제공개번호 | WO 2020/115962 (2020-06-11) | |
번역문제출일자 | 2020-12-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207036892 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판 상에 양호한 막두께 분포로 수지층을 형성한다.성막장치에서, 냉각 스테이지는, 기판을 지지하는 지지면과 지지면에 연속하는 측면부를 가지고, 지지면에 지지되는 상기 기판의 외주단이 측면부로부터 돌출하도록 구성된다.방착 프레임부는 환 형상이고, 냉각 스테이지의 측면부를 둘러싸도록 배치되고, 기판의 상기 외주단에 대향하는 위치에 요부가 설치되고, 요부에 의해 측면부가 둘러싸인다.가스 공급부는 지지면을 향해 에너지선 경화수지를 포함하는 원료가스를 공급한다.조사원은 지지면에 대향하고, 에너지선 경화수지를 경화시키는 에너지선을 상기 지지면
기판을 지지하는 지지면과 상기 지지면에 연속하는 측면부를 가지고, 상기 지지면에 지지되는 상기 기판의 외주단이 상기 측면부로부터 돌출하도록 구성된 냉각 스테이지와, 상기 냉각 스테이지의 상기 측면부를 둘러싸도록 배치되고, 상기 기판의 상기 외주단에 대향하는 위치에 요부가 설치되고, 상기 요부에 의해 상기 측면부가 둘러싸인 환 형상의 방착 프레임부와, 상기 지지면을 향해 에너지선 경화수지를 포함하는 원료가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 지지면에 대향하고, 상기 에너지선 경화수지를 경화시키는 에너지선을 상기 지지면을 향해 조사하는
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