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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7012035 (2021-04-22) | |
공개번호 | 10-2021-0058963 (2021-05-24) | |
등록번호 | 10-2551540-0000 (2023-06-30) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2019-079789 (2019-04-19) | |
국제출원번호 | PCT/JP2020/004126 (2020-02-04) | |
국제공개번호 | WO 2020/213228 (2020-10-22) | |
번역문제출일자 | 2021-04-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217012035 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-04-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
[과제] 균일한 막두께 분포의 박막(薄膜)의 장시간 연속 생산이 가능한 증착원 및 증착 장치의 제공.[해결수단] 증착원은, 수용 박스와, 제1 노즐군과, 제2 노즐군을 구비한다.수용 박스는, 증착 대상물에 성막하는 증착 재료를 수용한다.제1 노즐군은, 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역에 설치된 제1 노즐 구멍을 가지는 복수의 제1 노즐로 이루어진다.제2 노즐군은, 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역 보다 외방의 각 측의 측방 영역에 설치된, 제2 노즐 구멍을 가지는 복수의 제2 노즐로 이루어진다.수용 박스의 일방향 양단에 각각 위
증착 대상물에 성막하는 증착 재료를 수용하는 수용 박스와,상기 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역에 설치된, 상기 증착 대상물을 향해 출사되는 상기 증착 재료의 기화 물질이 통과하는 제1 노즐 구멍을 가지는 복수의 제1 노즐로 이루어진 제1 노즐군과,상기 수용 박스의 상기 일방향에서의 상기 중앙 영역 보다 외방의 각 측의 측방 영역에 설치된, 상기 증착 대상물을 향해 출사되는 상기 증착 재료의 기화 물질이 통과하는 제2 노즐 구멍을 가지고, 상기 일방향에 따라 일렬로 배치된 복수의 제2 노즐로 이루어진 제2 노즐군을 구비하는 증착원
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