초록 ▼

[과제] 균일한 막두께 분포의 박막(薄膜)의 장시간 연속 생산이 가능한 증착원 및 증착 장치의 제공.[해결수단] 증착원은, 수용 박스와, 제1 노즐군과, 제2 노즐군을 구비한다.수용 박스는, 증착 대상물에 성막하는 증착 재료를 수용한다.제1 노즐군은, 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역에 설치된 제1 노즐 구멍을 가지는 복수의 제1 노즐로 이루어진다.제2 노즐군은, 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역 보다 외방의 각 측의 측방 영역에 설치된, 제2 노즐 구멍을 가지는 복수의 제2 노즐로 이루어진다.수용 박스의 일방향 양단에 각각 위

[과제] 균일한 막두께 분포의 박막(薄膜)의 장시간 연속 생산이 가능한 증착원 및 증착 장치의 제공.[해결수단] 증착원은, 수용 박스와, 제1 노즐군과, 제2 노즐군을 구비한다.수용 박스는, 증착 대상물에 성막하는 증착 재료를 수용한다.제1 노즐군은, 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역에 설치된 제1 노즐 구멍을 가지는 복수의 제1 노즐로 이루어진다.제2 노즐군은, 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역 보다 외방의 각 측의 측방 영역에 설치된, 제2 노즐 구멍을 가지는 복수의 제2 노즐로 이루어진다.수용 박스의 일방향 양단에 각각 위치하는 제2 노즐 간의 간격이, 증착 대상물의 상기 일방향에서의 길이 보다 길고, 제2 노즐의 증착 재료의 기화 물질이 출사되는 개구단에 있어서, 제2 노즐 구멍의 구멍 축에 직교하는 가상 기준면으로부터의 높이가, 중앙 영역측에 위치하는 부분 보다 일방향에서의 외방측에 위치하는 부분 쪽이 낮다.

대표청구항 ▼

증착 대상물에 성막하는 증착 재료를 수용하는 수용 박스와,상기 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역에 설치된, 상기 증착 대상물을 향해 출사되는 상기 증착 재료의 기화 물질이 통과하는 제1 노즐 구멍을 가지는 복수의 제1 노즐로 이루어진 제1 노즐군과,상기 수용 박스의 상기 일방향에서의 상기 중앙 영역 보다 외방의 각 측의 측방 영역에 설치된, 상기 증착 대상물을 향해 출사되는 상기 증착 재료의 기화 물질이 통과하는 제2 노즐 구멍을 가지고, 상기 일방향에 따라 일렬로 배치된 복수의 제2 노즐로 이루어진 제2 노즐군을 구비하는 증착원

증착 대상물에 성막하는 증착 재료를 수용하는 수용 박스와,상기 수용 박스의 일방향에서의 중앙 영역에 설치된, 상기 증착 대상물을 향해 출사되는 상기 증착 재료의 기화 물질이 통과하는 제1 노즐 구멍을 가지는 복수의 제1 노즐로 이루어진 제1 노즐군과,상기 수용 박스의 상기 일방향에서의 상기 중앙 영역 보다 외방의 각 측의 측방 영역에 설치된, 상기 증착 대상물을 향해 출사되는 상기 증착 재료의 기화 물질이 통과하는 제2 노즐 구멍을 가지고, 상기 일방향에 따라 일렬로 배치된 복수의 제2 노즐로 이루어진 제2 노즐군을 구비하는 증착원이며,상기 수용 박스의 상기 일방향 양단에 각각 위치하는 제2 노즐 간의 간격이, 상기 증착 대상물의 상기 일방향에서의 길이 보다 길고,상기 제2 노즐의 상기 증착 재료의 기화 물질이 출사되는 개구단(開口端)에 있어서, 상기 제2 노즐의 개구단의 형상은, 상기 일방향과 직교하는 방향에 긴 쪽 방향을 가지는 구형(矩形)의 액연(額緣) 형상이고, 상기 제2 노즐 구멍의 구멍 축에 직교하는 가상 기준면으로부터의 높이가, 상기 중앙 영역측에 위치하는 부분 보다 상기 일방향에서의 외방측에 위치하는 부분 쪽이 낮은증착원.