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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7030811 (2021-09-24) | |
공개번호 | 10-2021-0144721 (2021-11-30) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2019-065541 (2019-03-29) | |
국제출원번호 | PCT/JP2020/014060 (2020-03-27) | |
국제공개번호 | WO 2020/203787 (2020-10-08) | |
번역문제출일자 | 2021-09-24 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217030811 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
질화규소와 마그네슘을 함유하는 질화규소 기판으로서, 질화규소 기판의 표면을, 특정 조건 I에서, 형광 X선 분석 장치로 분석했을 때, XB/XA가 0.8 이상, 1.0 이하인, 질화규소 기판이 제공된다.
질화규소와 마그네슘을 함유하는 질화규소 기판으로서,상기 질화규소 기판의 표면을, 하기 조건 I에서, 형광 X선 분석 장치로 분석했을 때, XB/XA가 0.80 이상, 1.00 이하인, 질화규소 기판.(조건 I)상기 질화규소 기판의 어느 일면의 표면에 있어서의 대각선의 교차점 A를, 형광 X선 분석 장치로 분석하고, 상기 교차점 A에 있어서의 마그네슘량 (mass%, 산화물 환산) 을 XA (%) 로 한다. 또한, 상기 대각선 상에 있고, 상기 질화규소 기판의 모서리부로부터 상기 교차점 A의 방향으로 3mm 내측에 위치하는 4점 B1
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