$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

OHT 대차용 그립유닛 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/677
  • H01L-021/67
  • H01L-021/673
  • H01L-021/687
출원번호 10-2022-0016928 (2022-02-09)
공개번호 10-2023-0120401 (2023-08-17)
등록번호 10-2676047-0000 (2024-06-13)
DOI http://doi.org/10.8080/1020220016928
발명자 / 주소
  • 이진영 / 경기도 평택시 고덕국제대로 ***, ***동 ****호
  • 최광열 / 경기도 성남시 분당구 수내로 **, 삼성보보스쉐르빌동 ****호 (수내동)
  • 송재연 / 경기도 용인시 처인구 경안천로 ***-*, ***동 ***호 (양우내안애에듀퍼스트)
출원인 / 주소
  • 시너스텍 주식회사 / 경기도 과천시 과천대로*나길 **, 비동 *,*층(갈현동, 과천어반허브)
대리인 / 주소
  • 김순웅
심사청구여부 있음 (2022-02-09)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명의 OHT 대차용 그립유닛은, 3˚ 틸팅(Tilting)된 오픈형 카세트에 형성된 측면 그립홈을 파지하는 핸드 플레이트를 포함하되, 상기 핸드 플레이트에는 3˚ 틸팅(Tilting)된 그립퍼가 구비된 것을 특징으로 한다.이에 따라, 3˚ 틸팅(Tilting)된 그립퍼에 의해 3˚ 틸팅(Tilting)된 오픈형 카세트의 그립홈을 안정적으로 파지할 수 있는 효과를 제공한다.

대표청구항

OHT 대차용 그립유닛은, 주행 레일을 따라 이동하는 OHT 대차에 결합되어 승강이 이루어지는 구동부를 포함하고, 상기 구동부의 동작에 의해 카세트를 그립하는 핸드 플레이트로 구성되며,상기 핸드 플레이트는, 3˚ 틸팅(Tilting)된 오픈형 카세트에 형성된 측면 그립홈을 파지하되,상기 핸드 플레이트에는 3˚ 틸팅(Tilting)된 그립퍼가 구비되고,상기 핸드 플레이트에는 감지센서가 더 구비되며,상기 감지센서는 그립퍼의 내측으로 카세트의 그립홈에 파지되는 방향으로 매립되며, 상기 감지센서는 상기 그립퍼와 그립홈의 체결을 감지하는데,

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 웨이퍼 카세트캐리어의 운반장치 및 방법 | 박종운
  2. [한국] 복수의 웨이퍼 이송 장치 및 방법 | 정영교, 송재연
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로