초록 ▼

이동가능한 스테이지 상에 지지된 기판을 임프린팅하기 위한 방법 및 시스템이 제공되며, 이는 기판 상의 액체 레지스트를 템플릿과 접촉시키는 것, 및 제어 파라미터들의 제1 세트를 갖는 피드백-피드포워드 제어 프로세스를 이용하여 기판을 템플릿과 정렬시키는 것을 포함한다.교정 데이터가 획득되고, 레지스트의 적어도 일부의 점도가 증가된다.그 후, 기판은, 레지스트의 점도가 증가된 후에, 제어 파라미터들의 제2 세트를 갖는 피드백-피드포워드 제어 프로세스를 이용하여 템플릿과 정렬되고, 제어 파라미터들의 제2 세트는 교정 데이터에 기반하여 결

이동가능한 스테이지 상에 지지된 기판을 임프린팅하기 위한 방법 및 시스템이 제공되며, 이는 기판 상의 액체 레지스트를 템플릿과 접촉시키는 것, 및 제어 파라미터들의 제1 세트를 갖는 피드백-피드포워드 제어 프로세스를 이용하여 기판을 템플릿과 정렬시키는 것을 포함한다.교정 데이터가 획득되고, 레지스트의 적어도 일부의 점도가 증가된다.그 후, 기판은, 레지스트의 점도가 증가된 후에, 제어 파라미터들의 제2 세트를 갖는 피드백-피드포워드 제어 프로세스를 이용하여 템플릿과 정렬되고, 제어 파라미터들의 제2 세트는 교정 데이터에 기반하여 결정되고, 레지스트는 템플릿 아래에서 경화된다.

대표청구항 ▼

이동가능한 스테이지 상에 지지된 기판의 임프린트 방법으로서,상기 기판 상의 액체 레지스트를 템플릿과 접촉시키는 단계;제어 파라미터들의 제1 세트를 갖는 피드백-피드포워드 제어 프로세스(feedback-feedforward control process)를 이용하여 상기 기판을 상기 템플릿과 정렬시키는 단계;교정 데이터를 획득하는 단계;상기 레지스트의 적어도 일부의 점도를 증가시키는 단계;상기 레지스트의 점도가 증가된 후에, 제어 파라미터들의 제2 세트를 갖는 상기 피드백-피드포워드 제어 프로세스를 이용하여 상기 기판을 상기 템플릿과

이동가능한 스테이지 상에 지지된 기판의 임프린트 방법으로서,상기 기판 상의 액체 레지스트를 템플릿과 접촉시키는 단계;제어 파라미터들의 제1 세트를 갖는 피드백-피드포워드 제어 프로세스(feedback-feedforward control process)를 이용하여 상기 기판을 상기 템플릿과 정렬시키는 단계;교정 데이터를 획득하는 단계;상기 레지스트의 적어도 일부의 점도를 증가시키는 단계;상기 레지스트의 점도가 증가된 후에, 제어 파라미터들의 제2 세트를 갖는 상기 피드백-피드포워드 제어 프로세스를 이용하여 상기 기판을 상기 템플릿과 정렬시키는 단계 - 상기 제어 파라미터들의 제2 세트는 상기 교정 데이터에 기반하여 결정됨 -; 및상기 템플릿 아래에서 상기 레지스트를 경화시키는 단계를 포함하는, 임프린트 방법.