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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0027842 (2022-03-04) | |
공개번호 | 10-2023-0130809 (2023-09-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220027842 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
패턴의 결함 분류 방법에서, 동일한 패턴에 대해 서로 다른 색상을 갖는 SEM 이미지들을 정렬하여 병합할 수 있다. 상기 병합된 SEM 이미지에서 색상 차이를 통해 상기 패턴의 결함 위치를 선정할 수 있다. 상기 선정된 패턴의 결함 위치에서 상기 패턴의 결함을 1차 분류할 수 있다. 상기 패턴의 레이아웃이 그려진 설계도와 상기 병합된 SEM 이미지를 정렬할 수 있다. 상기 패턴의 레이아웃과 상기 병합된 SEM 이미지를 비교하여 상기 패턴의 결함을 2차 분류할 수 있다. 상기 1차 및 2차 패턴 결함 분류의 조합을 통해 상기 패턴의
동일한 패턴에 대해 서로 다른 색상을 갖는 SEM 이미지들을 정렬하여 병합하고;상기 병합된 SEM 이미지에서 색상 차이를 통해 상기 패턴의 결함 위치를 선정하고;상기 선정된 패턴의 결함 위치에서 상기 패턴의 결함을 1차 분류하고; 상기 패턴의 레이아웃이 그려진 설계도와 상기 병합된 SEM 이미지를 정렬하고; 상기 패턴의 레이아웃과 상기 병합된 SEM 이미지를 비교하여 상기 패턴의 결함을 2차 분류하고; 그리고상기 1차 및 2차 패턴 결함 분류의 조합을 통해 상기 패턴의 결함 종류를 판단하는 패턴의 결함 분류 방법.
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