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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-7031880 (2023-09-18) | |
공개번호 | 10-2023-0160262 (2023-11-23) | |
우선권정보 | 유럽특허청(EPO)(EP) 21163831.7 (2021-03-19) | |
국제출원번호 | PCT/EP2022/052816 (2022-02-07) | |
국제공개번호 | WO 2022/194448 (2022-09-22) | |
번역문제출일자 | 2023-09-18 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020237031880 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
주사 전자 현미경(SEM)에서 샘플 충전 효과를 감소시키는 방법이 개시되어 있으며, 상기 방법은: 파라미터가 제1 정량(quantity)인 제1 전자 빔 스캔으로부터 제1 SEM 이미지를 획득하는 단계; 파라미터가 제1 정량과 상이한 제2 정량인 제2 전자 빔 스캔으로부터 제2 SEM 이미지를 획득하는 단계; 및 제1 SEM 이미지의 표현, 제2 SEM 이미지의 표현, 제1 SEM 이미지에 대응하는 제1 점 확산 함수 및 제2 SEM 이미지에 대응하는 제2 점 확산 함수를 포함하는 컨볼루션 방정식을 기반으로 감소된 샘플 충전 효과
명령어가 기록된 비일시적 컴퓨터 판독 가능 매체를 포함하는 컴퓨터 프로그램 제품으로서, 상기 명령어는 컴퓨터에 의해 실행될 때:파라미터가 제1 정량(quantity)인 제1 전자 빔 스캔으로부터 제1 SEM 이미지를 획득하는 단계;상기 파라미터가 상기 제1 정량과 상이한 제2 정량인 제2 전자 빔 스캔으로부터 제2 SEM 이미지를 획득하는 단계; 및상기 제1 SEM 이미지의 표현, 상기 제2 SEM 이미지의 표현, 상기 제1 SEM 이미지에 대응하는 제1 점 확산 함수 및 상기 제2 SEM 이미지에 대응하는 제2 점 확산 함수를 포
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