초록

개시되는 플라즈마 식각 장비용 히터 링 재생 장치가 재생 침지조와, 재생 침지 용액을 포함함에 따라, 플라즈마 식각 장비용 히터 링에 의한 웨이퍼의 엣지 부분에 대한 온도 균일성이 유지되면서 플라즈마에 노출되면서 접착제가 식각된 상태의 상기 플라즈마 식각 장비용 히터 링이 재생될 수 있게 되는 장점이 있다.

대표청구항 ▼

플라즈마에 노출되면서 접착제가 식각된 상태의 플라즈마 식각 장비용 히터 링이 수용될 수 있는 재생 침지조;상기 재생 침지조의 내부에 수용되고 상기 플라즈마 식각 장비용 히터 링이 침지되어, 상기 플라즈마 식각 장비용 히터 링을 구성하면서 접착제에 의해 접착된 링 바디와 히터 내장 플레이트가 분리될 수 있도록 하는 재생 침지 용액;상기 재생 침지 용액의 휘발이 방지될 수 있도록 상기 재생 침지조를 덮어 밀봉하는 밀봉 덮개;상기 재생 침지조의 상단에 형성되는 침지조측 실링 부재; 및상기 밀봉 덮개의 저면에 형성되되 상기 침지조측 실링

플라즈마에 노출되면서 접착제가 식각된 상태의 플라즈마 식각 장비용 히터 링이 수용될 수 있는 재생 침지조;상기 재생 침지조의 내부에 수용되고 상기 플라즈마 식각 장비용 히터 링이 침지되어, 상기 플라즈마 식각 장비용 히터 링을 구성하면서 접착제에 의해 접착된 링 바디와 히터 내장 플레이트가 분리될 수 있도록 하는 재생 침지 용액;상기 재생 침지 용액의 휘발이 방지될 수 있도록 상기 재생 침지조를 덮어 밀봉하는 밀봉 덮개;상기 재생 침지조의 상단에 형성되는 침지조측 실링 부재; 및상기 밀봉 덮개의 저면에 형성되되 상기 침지조측 실링 부재와 맞물리도록 배치되어 상기 밀봉 덮개와 상기 재생 침지조 사이를 밀폐시키는 덮개측 실링 부재;를 포함하고,상기 침지조측 실링 부재는상기 재생 침지조의 상단에서 소정 높이로 돌출 형성되되 곡면체 형태로 돌출되는 침지조측 실링 몸체와,상기 침지조측 실링 몸체의 중앙부인 정상 부분에 소정 높이로 돌출 형성되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어지며 에어가 내부에 수용된 상태인 정상 에어 벌룬과,상기 정상 에어 벌룬으로부터 연장되는 형태로 상기 침지조측 실링 몸체를 관통하여 형성되어 상기 정상 에어 벌룬의 내부의 에어가 유동될 수 있는 침지조측 유동관과,상기 침지조측 유동관과 연통되도록 상기 침지조측 실링 몸체의 외면 상에 소정 깊이로 함몰 형성되어 상기 침지조측 유동관을 통해 유동된 에어가 수용될 수 있는 침지조측 에어 수용홀과,상기 침지조측 에어 수용홀을 덮고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 침지조측 에어 수용홀의 내부로 유입된 에어의 압력에 의해 부풀도록 탄성 변형될 수 있는 침지조측 탄성 패널을 포함하고,상기 덮개측 실링 부재는상기 침지조측 실링 몸체가 삽입될 수 있는 형태로 상기 밀봉 덮개의 저면 상에 함몰 형성되는 몸체 삽입홀과,상기 몸체 삽입홀의 중앙부인 정상 부분에 소정 깊이로 함몰 형성되어 상기 정상 에어 벌룬이 삽입될 수 있되 상기 정상 에어 벌룬이 가압될 수 있도록 상기 정상 에어 벌룬에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성되는 벌룬 삽입 가압홀과,상기 몸체 삽입홀 중 상기 침지조측 탄성 패널과 대면되는 위치에서 소정 깊이로 함몰 형성되고 내부에 에어가 수용된 덮개측 에어 수용홀과,상기 덮개측 에어 수용홀을 덮고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 부풀어 오른 상태의 상기 침지조측 탄성 패널에 의해 눌리면서 탄성 변형될 수 있는 덮개측 탄성 패널과,상기 덮개측 에어 수용홀로부터 연장되는 형태로 상기 밀봉 덮개를 관통하여 형성되어 상기 덮개측 에어 수용홀의 내부의 에어가 유동될 수 있는 덮개측 유동관과,상기 덮개측 유동관과 연통되고 상기 벌룬 삽입 가압홀의 전체에 대해 소정 깊이로 함몰 형성되어 상기 덮개측 유동관을 통해 유동된 에어가 수용될 수 있는 벌룬 삽입 에어 수용홀과,상기 벌룬 삽입 에어 수용홀을 덮어 상기 벌룬 삽입 에어 수용홀과 상기 벌룬 삽입 가압홀의 경계면을 이루고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 벌룬 삽입 에어 수용홀의 내부로 유입된 에어의 압력에 의해 부풀도록 탄성 변형될 수 있는 벌룬 가압 탄성 패널을 포함하고,상기 밀봉 덮개가 상기 재생 침지조 상에 놓일 때, 상기 침지조측 실링 몸체와 상기 정상 에어 벌룬이 각각 상기 몸체 삽입홀과 상기 벌룬 삽입 가압홀에 삽입된다. 그러면, 상기 몸체 삽입홀의 내면과 상기 침지조측 실링 몸체의 외면이 접하고 상기 벌룬 가압 탄성 패널과 상기 정상 에어 벌룬의 외면이 접하면서 상기 밀봉 덮개와 상기 재생 침지조 사이가 1차적으로 밀폐되고,상기 정상 에어 벌룬이 상기 벌룬 삽입 가압홀의 내부에 수용될 때 눌려 가압되어 상기 정상 에어 벌룬이 수축되도록 탄성 변형되면서 상기 정상 에어 벌룬의 내부에 있던 에어가 상기 침지조측 유동관을 통해 유동된 다음 상기 침지조측 에어 수용홀로 유입되고, 그에 따라 상기 침지조측 에어 수용홀의 내부로 유입된 에어의 압력에 의해 상기 침지조측 탄성 패널이 부풀어오르면서, 상기 침지조측 탄성 패널이 상기 덮개측 탄성 패널을 가압하게 됨으로써, 상기 덮개측 탄성 패널이 상기 덮개측 에어 수용홀의 바닥 쪽으로 눌리게 되고, 그에 따라 상기 덮개측 에어 수용홀의 내부에 있던 에어가 상기 덮개측 유동관을 통해 유동된 다음 상기 벌룬 삽입 에어 수용홀의 내부로 유입되어 상기 벌룬 삽입 에어 수용홀의 내부 압력이 증가하여 상기 벌룬 가압 탄성 패널이 상기 정상 에어 벌룬 쪽으로 밀리도록 탄성 변형됨으로써, 상기 벌룬 가압 탄성 패널과 상기 정상 에어 벌룬 사이가 상대적으로 더 밀착되면서 상기 밀봉 덮개와 상기 재생 침지조 사이가 2차적으로 밀폐되고,상기 벌룬 가압 탄성 패널이 상기 정상 에어 벌룬을 밀게 되면서 상기 정상 에어 벌룬의 내부에 있던 에어가 추가적으로 더 상기 침지조측 에어 수용홀로 이동되어, 상기 침지조측 탄성 패널이 추가적으로 더 부풀어오르도록 탄성 변형되고, 그에 따라 상기 덮개측 탄성 패널이 추가적으로 더 밀려서 상기 덮개측 에어 수용홀의 내부에 있던 에어가 추가적으로 더 상기 벌룬 삽입 에어 수용홀 쪽으로 이동되어 상기 벌룬 가압 탄성 패널이 추가적으로 더 부풀어오르게 되면서 상기 밀봉 덮개와 상기 재생 침지조 사이가 3차적으로 밀폐되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 식각 장비용 히터 링 재생 장치.