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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0119373 (2021-09-07) | |
등록번호 | 10-2485430-0000 (2023-01-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210119373 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-09-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1방향을 따라 연장 형성되는 관통홀부가 구비되는 베이스부와; 베이스부의 상측에 편평하게 형성되는 코팅부 및 관통홀부와 연결되며 베이스부의 내부에 설치되는 절연부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 및 정전척의 제조 방법을 제공한다.
제1방향을 따라 연장 형성되는 관통홀부가 구비되는 베이스부; 및상기 베이스부의 상측에 편평하게 형성되는 코팅부; 및 상기 관통홀부와 연결되며 상기 베이스부의 내부에 설치되는 절연부;를 포함하고,상기 관통홀부는 제1직경으로 형성되고, 상기 베이스부에는, 상기 관통홀부 상에서 상기 베이스부의 상면으로부터 소정 깊이만큼 상기 제1직경보다 상대적으로 큰 직경인 제2직경으로 설치홈부가 형성되고, 상기 절연부는 상기 설치홈부에 삽입 배치되며, 상기 베이스부의 상면 및 상기 절연부의 상면은 동일 평면 상에 형성되고,상기 절연부의 길이 방향 중심
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