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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0148871 (2022-11-09) | |
공개번호 | 10-2023-0073099 (2023-05-25) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210159389 (2021-11-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220148871 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-11-09) | |
법적상태 | 공개 |
플라즈마 스퍼터링 장치가 개시된다. 상기 플라즈마 스퍼터링 장치는 회전 가능하게 구비되는 실린더 형상의 타깃; 상기 타깃 내에서 상기 실린더 형상의 원에 내접하는 가상의 이등변 삼각형의 밑변에 대응하게 배치되는 막대 자석이고, 상기 타깃의 길이방향으로 연장되고 양극은 상기 원의 지름 양끝 방향에 위치하여 상기 타깃의 외부에 자기장을 형성하는 막대 자석; 및 상기 타깃에 스퍼터링을 위한 전압을 인가하는 전원장치(미도시)를 포함한다.
회전 가능하게 구비되는 실린더 형상의 타깃(10);상기 타깃(10) 내에서 상기 실린더 형상의 원에 내접하는 가상의 이등변 삼각형의 밑변에 대응하게 배치되는 막대 자석이고, 상기 타깃(10)의 길이방향으로 연장되고 양극은 상기 원의 지름 양끝 방향에 위치하여 상기 타깃(10)의 외부에 자기장을 형성하는 막대 자석(20); 및상기 타깃(10)에 스퍼터링을 위한 전압을 인가하는 전원장치(미도시)를 포함하는,플라즈마 스퍼터링 장치.
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